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真空メーカーの装置が行う作業とは？
nowane4649の回答
- nowane4649
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真空ポンプといっても到達真空度で色々な種類があり、それぞれの用途があります。 低真空ポンプ(30kPa abs、-70kPaGくらい) 例：シングルステージのダイアフラムポンプ 吸着搬送など、市販冷蔵庫の真空チルドもこれくらい。 低真空ポンプ(3kPa abs、-97kPaGくらい) 例：ダブルステージのダイアフラムポンプ ガス置換のための真空排気など 中真空ポンプ(10～100Pa absくらい) 例：3段ダイアフラムポンプ、小型スクロールポンプ、シングルステージ油回転ポンプなど 高背圧対応の高真空ポンプの荒排気(フォアライン)、真空乾燥、エアコン冷媒配管の真空排気もこのくらい 中真空ポンプ(0.1～10Pa absくらい) 例：大型スクロールポンプ、スクリューポンプ、多段式油回転ポンプ、メカニカルブースターポンプなど 酸化防止のあまりいらない真空熱処理、真空乾燥、高真空ポンプの荒排気(フォアライン)など 高真空ポンプ(10^-5～10^-3Pa absくらい) 例：ターボ分子ポンプ、油拡散ポンプなど 真空熱処理、CVDやPVDといった成膜、電子顕微鏡もこれくらいが多い プラズマ核融合装置 超高真空ポンプ(10^-8～10^-6Pa absくらい) 例：スパッタイオンポンプ、チタンスパッタポンプ(蒸発型ゲッターポンプ)、クライオポンプなど MBEなど半導体成長など、表面分析装置、加速器 極高真空ポンプ(～10^-9Pa abs) 例：非蒸発型ゲッターポンプ 非常に清浄度が要求される表面分析など といったところでしょうか。 高真空ポンプ
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