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サーモカップルゲージとピラニー真空計について
PVDの装置に使用している真空計のなかに、サーモカップルゲージ（T/Cゲージ）とピラニーゲージ（コンベクトロン）がありますが、測定範囲がほぼ同じであるにもかかわらず、前者は、クライオポンプに装着し、後者は、プロセスチャンバーに装着されています。測定原理も同じとおもいますが、使い分けの理由が分かりません。どなたか詳しい方の回答をお願いいたします。
- flowersnows
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質問者が選んだベストアンサー
クライオやTMPは、大気圧から排気することができないので、あらかじめクライオやTMPのバックからクライオやTMPが動作する事が可能な圧力まで大気圧で排気可能なロータリー(あまり使用しない)やドライポンプで荒引きしてあげる必要があります。その圧力の測定は、大体でいいので安価で精度がいまいちなTCゲージを使用しています。(なのでクライオとドライの間のフレキに入っている、1Pa以下ぐらいでポンプがONしてもよくなるのでは？)。それで精度のよいピラニがチャンバに ついているんだと思います。なんですが、普通チャンバには、電離真空計(高真空用、到達圧を測定)と隔膜真空計(プロセス中用、絶対圧なので気体種による依存なし、)が二つついているのが一般的だと思います、多分。
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- zuyun
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ぜんぜん「詳しい方」ではありませんが…。 参考URL(↓)を見ると、おっしゃるとおり原理はほとんど同じですが、使い分けについては書かれていません。ただ、熱電対真空計の方が精度が劣るが、そのかわり安価でよく用いられる、とあります。 私の予想では、ポンプに備えてあるのは、運転状態の確認とか、単体での性能を確認するための「目安」であって、他方チャンバー本体は精度よく測りたい、ということではないでしょうか。 以上単なるしろうとの想像でした。
お礼
ありがとうございました。大変参考になりました。
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