バイアル中の真空度の測定方法について
- 中身が真空になっているガラスバイアル中の真空度を非破壊検査する方法について調査しました。
- バイアル中の真空度を測定する装置を使用すると、バイアルの外から高周波高電圧を印加し、放電が生じることで真空度を検査します。
- しかし、現在の装置に加えて、より高精度で真空度を検査する方法についても調査しました。
- 締切済み
バイアル中の真空度の測定方法について
中身が真空になっているガラスバイアル中の真空度を非破壊検査する装置を使用しています。 測定原理は、バイアルの外から高周波高電圧を印加したときに、高真空であればバイアル中に放電が生じるので、その電流値を測定することによって真空度を検査するというものです。 （数十torrレベルでの弁別が可能） 本装置は20年程度前から使用しているのですが、現在、この他の測定原理によって、更に精度高くこのような検査をすることができる方法はないのでしょうか。 簡単な質問で申し訳ありませんが、御回答いただければ幸いです。 宜しくお願い申し上げます。
- 測定・分析
- 回答数1
- ありがとう数1
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
みんなの回答
以前テレビブラウン管の製造で採用されていた技術に、 加熱真空中のアルミ蒸着を膜厚測定して真空度を検出す る方法がありました。測定は多くのチェック項目がり、 再現性・精度も不確かだったですが、高真空度測定が 出来たように思います。(忘れましたが10トールとか) ご参考まで、
関連するQ&A
- 真空遮断機の真空度試験方法について
真空遮断機の真空度試験の方法について 教えてください。 通常、携帯用の真空チェッカーなど使用して測定するかと思いますが その際の電圧印加時間って決まりあります？ 何かの説明書には1分間印加してチェックしますとありますが 逆に かけすぎては いけないとの記載もありませんでした。 その場合1分だとＯＫでも 3分だとＮＧの試験結果となった場合 どのように判断すればいいのか なにか 根拠あれば教えてください。 よろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- その他（社会）
- 真空度の変化について
自動車部品製造業に勤めています 真空ポンプとレギュレータを使用しタンク内の真空圧を調整していますが、各装置で同じ部品を使用しているのに、タンク内真空度の変化に違いが出ます 装置Aと装置Bがあり、レギュレータ設定が高い時は真空度の上がり方がA＞B、レギュレータ設定が低い時はA＜Bになります レギュレータとタンクの間にバルブがあり、０から設定圧までの上がり方です 真空ポンプの回転数はAB同じです 配管の長さに違いが有り、リークや圧損・コンダクタンス？が影響しているとは思うんですが、はっきりと理解出来ません 装置Aと装置Bの真空変化度が同じに様になる為にはどのようにしたら良いでしょうか 駄質問ですが宜しくお願いします
- 締切済み
- 物理学
- 「測定装置の確からしさ」に付いて悩んでおります。
「測定装置の確からしさ」に付いて悩んでおります。 突然、不躾な質問で申し訳ございません。分からない事があります。教えて頂けませんか？ ⇒会社員なのですが、「測定装置の確からしさ」に付いて悩んでおります。 測定装置の「精度」は１％なのですが、毎回壊れている可能性が在る訳ですから単純には 測定物が１％に入っているか否か分かりません。 確かめる為に、複数回検査をしています、同じ精度の別な測定装置に２回掛け（合計３回） １％以内のバラツキで測定結果がでた場合 １％×１％×１％＝０．０００１％の確率で『間違っている』＝全く偶然に同じ様に壊れている。 これは１００万回に１回の出現率？だろうから、無視してよかろう 故に壊れていない＝「測定結果は正しい」と確率的に云えるモノなのでしょうか？ ご教示の程何卒、宜しくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 数学・算数
- 気体誘電率の測定方法
理科年表によると２０℃の乾燥空気で比誘電率が1.000536と書いてあります。他の気体の値も調べられていますがこれはどういう方法で測定されたのでしょうか。 簡単に考えるとマイクロ波の空洞共振器の中を真空と気体を入れたときの共振周波数の差で測定すれば良いようにも思いますが、これだと 誘電率と透磁率の区別が出来ないのではと心配してしまいます。また 赤外領域まで同じとも書いてありますが測定で確認されているのでしょうか。 コンデンサの容量を測定することによって誘電率を出すことは可能のように思われますが精度がそこまで得られるのでしょうか。特に周波数特性が心配になりますがどう処理しているのでしょうか。 どなたがご存知の方是非ご教授お願い申し上げます。
- 締切済み
- 物理学
- サーモカップルゲージとピラニー真空計について
PVDの装置に使用している真空計のなかに、サーモカップルゲージ（T/Cゲージ）とピラニーゲージ（コンベクトロン）がありますが、測定範囲がほぼ同じであるにもかかわらず、前者は、クライオポンプに装着し、後者は、プロセスチャンバーに装着されています。測定原理も同じとおもいますが、使い分けの理由が分かりません。どなたか詳しい方の回答をお願いいたします。
- ベストアンサー
- 化学
- 動的粘弾性の測定法を教えて下さい。
高分子の動的粘弾性の測定を行おうとしておりまして、測定装置(パーキンエルマ社製)はあるのですが、測定条件をどのようにすれば良いのか分らずに困惑しております。 書籍を調べ、測定原理については理解したつもりなのですが、周波数や加重をどのように最適条件を導けば良いのでしょうか。 周囲に詳しい方がおられず、総代理店に問い合わせてもらちが明かず質問させて頂きました。 どうかよろしくお願いします。
- ベストアンサー
- 化学
- 到達真空度の見積もりって・・・
素人な質問、もしくは既出の質問でしたらすいませんがどなかた教えていただけるとありがたいです。 当方、普段から真空装置（チェンバー・RP・TMP等）を使用して実験を行っています。最近、装置改良のためチェンバーを二ヶ月近く大気圧にさらしていました。そしていざ、真空を引き始めるといまいち到達真空度がよろしくありません。そこで考えられる可能性としては ・長い間大気圧に放置しすぎた ・TMPの排気速度が充分ではない 等を考えています。放置していた件に関してはベイクしてやるか時間をかけてやれば良いと考えています。排気速度に関しては理論的な到達真空度を見積もってやることによって排気速度の見直しを行おうと考えました。色々と調べたのですが排気速度から到達真空度を算出する適当な方法が見つかりませんでした。 どなたかご存知の方がいらしましたらご教授願います。 宜しくお願いいたします。
- 締切済み
- 物理学
- 非破壊で、真空封止ワーク内部の真空度を計測する方法
溶接にて真空封止を行ったチタンワークがあります。 （ワークの形状は、上下を塞いだパイプ（円柱）です。） この部品を、破壊せずに内部の真空度を計測する方法はありませんでしょうか？ 現在私が検討している方法として、 超音波を使用した計測はできないかと考えています。 アドバイス等でも構いませんので、回答よろしくお願い致します。
- ベストアンサー
- 測定・分析
- 耐熱・真空用接着剤を探しています。
パッケージ（材料：鉄にメッキ）のフタ（材料：鉄にメッキ）に窓を付け、中を真空封止しようと思っています。 窓にコーティングをしているので、耐熱温度は150℃ぐらいです。 使用環境は常温なんですが、封止する時に一時的に高温（100℃ぐらい）になります。 トールシールかアラルダイトで検討しています。 硬化した後に熱を加えて、接着剤からガスは出てこないのでしょうか？ また、どのぐらいの期間真空状態を保てるのでしょうか？ 真空度としては、10の-3乗Torrぐらいあれば良いです。 封止した時は、10の-5乗Torrぐらいになると思います。 トールシールに関しては、代理店などに知りたい情報がありませんでした。 どなたかご存知の方教えて下さい。
- 締切済み
- 開発
お礼
回答いただき有難うございます。 勉強不足で申し訳ありませんが、ブラウン管の製造後に内部の真空度を測定する技術としてこのような方法があるのでしょうか。 ブラウン管内の真空度は10e-7torr程度のようですので、今回必要としている真空度から比較するとかなり高真空領域での測定技術のようですね。 今回測定の対象にしているものは真空バイアルで内部に何もなく（薄膜等がない）、この技術の適用は難しそうですが、参考にさせて頂きます。 有難うございました。