チャンバー内のサンプル厚さ測定
- アクリル製の真空チャンバーの中で板状のサンプルの真空度を測定する方法について
- チャンバーの外からレーザーで変位を測るのは難しいか？
- チャンバー内での厚さ測定において、レーザー変位センサと差動トランスの精度比較
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チャンバー内のサンプル厚さ測定
アクリル製の真空チャンバーの中で板状のサンプルの真空度を測定したいと思っています。 チャンバーの外からレーザーで変位を測るのは難しいですか？ もし可能であれば，チャンバー外からレーザー変位センサで測るか，中で差動トランスで測るかどちらが精度が良いと思いますか？
- 監視・センサ
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動いたことがわかればいいというだけであるなら、ストレインゲージをサンプルに貼り付けることで検知できると思います。
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＞アクリル製の真空チャンバーの中で板状のサンプルの真空度を測定したい 板状のサンプルの「厚さ」を測定なさりたいのでしょうか？ 厚さは何mm程度ですか？ 所要の精度は何μm程度ですか？ 情報提示可能であれば、お知らせ頂いたほうが具体的な答えが得られそうに 思います。
補足
言葉足らずでした。すみません。 サンプルの厚さを測りたいです。 板状サンプルは始め7～8mmの厚さを想定しています。減圧測定法により「サンプル内圧力＞チャンバー内圧力」となった時点のサンプルのふくらむところを検知できればいいので，動いたとわかる程度の精度です。 （わかりにくくてすみません）
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ありがとうございます。 ストレインゲージを利用することは思いつきませんでした。 使用する場合は貼り付ける接着剤を検討する必要がありそうです。