レーザー変位センサの測定精度について

このQ&Aのポイント
  • レーザー変位センサの測定精度について質問です。
  • 測定精度を示すものとして分解能と直線性の2つがありますが、それぞれの違いは何ですか。
  • 三菱電機のMH11シリーズというレーザー変位センサの測定精度について調べています。
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レーザー変位センサの測定精度について

レーザー変位センサの測定精度について質問です。 測定精度を示すものとして分解能と直線性の2つがありますが それぞれの違いは何ですか。 例として、100µmのモノを測った際に 測定結果が±0.1µmの誤差が生じることや 0.1µm単位で測定が出来ること分けて示しているのでしょうか。 私が見ている製品は三菱電機のMH11シリーズというものです。

質問者が選んだベストアンサー

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  • TIGANS
  • ベストアンサー率35% (244/680)
回答No.1

分解能は、最小目盛りの大きさ。 直線性は、測定値の真値からのズレを表したのもの。 分解能以下の動きでは変化自体が検出できない 直線性は計測値の絶対値が必要な時の偏差の指標。 お礼率 0% (0/14) さんなので簡単に。

snows1026
質問者

お礼

分かりやすい回答ありがとうございます。 お礼なるものがあること初知りでした。すみません。

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