レーザー変位計のガラス越しの計測

質問

XYテーブルの上に測定物を載せ、動かしながらレーザー変位計で測定物の形状を測定するのですが、測定物を過熱しながら測定するとき、できればふたをして、空気の対流を小さくし、測定物の温度を安定させたいのです。
　そこでガラスのふた（培養なんかで使われてるシャーレの様な感じ）などでふたをして、ガラス越しにレーザー変位計で測定したいのですが、ガラスを間に入れることにより屈折、反射により計測が難しいかと思われますが、ガラスの平面度、ガラスとレーザー光との垂直度、ガラスのコーティングにより計測は可能なのでしょうか？
　計測物はφ20mmの薄板。ふたの直径120mm、厚さ3～5mm。レーザー変位計の焦点距離30mm。欲しい測定値の精度は1/1000mmです。
　何かいい対策等ありましたらよろしくお願いします。

回答No.2

FM-8 · ベストアンサー

レーザ変位計の原理というのはいくつかあります．

以下は，「散乱光を三角測量」「直接反射光を三角測量」するようなタイプだと考えますと，

詳しくは，メーカの営業さんにでも聞いていただきたいのですが，

ガラスが間にはいると，光路長が変わりますが，
三角測量では干渉を利用しているわけではないので，
これ自体は関係ありません．
問題は，光線と角度をもった平行板ガラスが間にはいると，光線が屈折により，一定幅で，平行にシフトすると言うことです．
ただし，これは，板厚が一定であれば，そのシフト量も一定ですので，変位計として，「変位」を読むのであれば，無視できます．
ただ，場所によってガラスの板厚が変化する場合には，
そのシフト量も変化すると思いますので，注意が必要になるでしょうね．
(平行板ガラスとは，2つの面が平行ということで，普通の板ガラスです．)

キャリブレーションしてれば良いのでは?
どのみち1回はやりますよね?
キャリブレーションとは，測定物を実際に，動かしてみて，そのときのレーザ変位計の出力値をプロットし，
校正することです．

お礼

解りやすい回答ありがとうございます。計測方法はFM-８様の言われる通り散乱光を三角測量するタイプです。板厚が一定であればできるとは思うのですが、いったいどの程度かわからず、ガラス屋さんに精度を上げることはできるが値段も上がると・・・まだ見積もり待ちの状態です。
一度メーカーに聞いてみます。

補足

メーカーに問い合わせたところ、普通に計測できるそうです。もちろんキャリブレーションが必要とのことです。FM-8様のおかげで予習ができ助かりました。ありがとうございました。

回答No.1

noname#11466

原理的には可能ですが、実際に可能かどうかはそのレーザー変位計次第ですから、メーカーに相談して下さい。

お礼

Attorney様の言う通りですよね。ついついここに頼ってしまいました。実際に同じようなことした人がやはったらなぁと考えていたのですが・・・

補足

メーカーに尋ねたところ、大丈夫ですとのことでした。