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真空ポンプの液封式とドライルーツ式のメリットデメリット
noname#230359の回答
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パッと思いついたものだけ書いてみます。 水封式 メリット ：液圧縮の心配が無い（故障しにくい） 構造が単純なのでメンテしやすい デメリット：到達真空度は水の蒸気圧まで （封水の温度によって到達真空度が変わる） 結構な量の排水が出る （封水を循環冷却する場合はその限りでは無いですが） 場合によっては封水の処理（廃水処理）が必要 ドライルーツ メリット ：比較的高真空が得られる 油分が混入しない デメリット：液圧縮で容易に故障する （溶剤等の凝縮性があるガスを吸引した場合顕著） クリアランス調整等のメンテが面倒 結構な発熱があるので冷却水が必要 廃水処理について心配しなくて良いなら、 個人的には水封式の方が使いやすいと思います。 ただ、到達真空度は頑張って25 Torr程度なので、 これより高真空が必要な場合は他の機種を選定しないといけません。
- noname#230359
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