真空リーク箇所の発見方法について

質問

多くの継ぎ手、パッキン、Oリングを使用しており、目標の真空値まで到達出来ません。
リーク箇所を発見するのに、全ての継ぎ手、Oリングの取付状態を再確認しています。

もっと簡単に、安価で真空リーク箇所を発見する方法をご教授願います。

回答No.4

noname#230359

valtanさんの言ってるのは多分ガイスラー管ですね、この方法だとピラニーゲージレベルです、このレベル
より低い真空度の容器、配管の時は炎色反応を利用
したテスト方法があります、内容は確かフロン２２と
言うガスをチャンバーに充満させ圧力をかけて、確か専用のバーナーで溶接箇所、継ぎ手部分に炎をかけます、漏れがあるとその部分から炎の色が変わり漏れの
部分からも炎がでます。前の会社の時グローブボックスのリークでこれをやりましたが-500mmhgくらいの物なら一番早いと思います、冷凍機関係の会社に問い合わせしてみたらいかがでしょうか？参考になるか解りませんが参考までにしてください

回答No.3

noname#230359

御参考程度にしていただければと存じます。
ご所望される真空度、リーク量にもよりますが真空放電管を自作すると言う方法もありますね。

リークが疑われる箇所に適当な、ガスを吹き付けるか有機溶媒を塗ると空放電管の色が変ると思いますが、如何でしょう

参考URL：

http://www.chuden.co.jp/e-museum/denkiarekore/child/junior/j007.html

回答No.2

noname#230359

詳しい状況はわかりませんが，機械的に漏れを確認する方法として，要所に手動弁と真空計を設けることがあります。特に，メンテナンスのときに楽になります。配管系全てを連通させるのではなく，ブロックごとに遮断して，漏れる個所を限定する方法です。

　気体を扱う場合，パッキンで漏れをなくするのは難しいと思いますし，継手がねじ込みだと更にやっかいかもしれません。Ｏリング，溶接式継手が本当は楽ですが。。

回答No.1

noname#230359

超音波によるリーク検査装置があります。参考になるかどうかわかりませんが、ホームページ参照ください。

参考URL：

http://www.m-e-c.jp/RI-KU.htm

お礼

早速のご紹介ありがとうございます。
メーカーに確認してみます。