SU-8(100)の使い方と条件について

前へ 次へ
このQ&Aのポイント
  • SU-8(100)は１００ミクロンの厚さのレジストを塗るための薬品です。
  • スピンコートの回転数、Soft Bakeの時間と温度、アライナの露光条件、Post Exposure Bakeの時間と温度について詳細を知りたいです。
  • アライナの最高出力は１３mWです。
回答を見る
  • 締切済み

SU-8(100)について

SU-8(100)という薬品を使って１００ミクロンの厚さのレジストを 塗りたいのですが、スピンコートの回転数、Soft Bakeの時間と温度、 アライナの露光条件、Post Exposure Bakeの時間と温度などについて ご存じの方おられませんでしょうか？アライナの最高出力は、１３mW です。よろしくお願いします。

noname#230358
noname#230358

みんなの回答

noname#230359
noname#230359
回答No.2

以下のURLに各種SU-8の各条件が載っています． 英語ですが・・・．

参考URL：
http://www.microchem.com/products/su_eight.htm
noname#230359
noname#230359
回答No.1

初速：500rpm 3秒 ｽﾛｰﾌﾟ：5秒 本速：2000rpm 30秒 Soft Bake 65度 10分　そのまま温度を上げる 　　　　　95度 40分　そのまま常温まで放置 露光：20～25秒 露光後Bake:常温から温度を上げて行く　65度 5分そのまま温度を上げる 　　　　　 95度 になってから15分　そのまま常温まで放置 現像：SU-8ﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ　10～15分 ﾘﾝｽ：ｲｿﾌﾟﾛﾋﾟﾙｱﾙｺｰﾙ 2～5分(浸した時に白く濁るようならばﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟ追加） 乾燥：ｴｱ･ﾌﾞﾛｳ 　　　以上のやり方は目安とお考えください。あくまでも露光後の結果にて 　　　条件を変えてください。

  1. カテゴリ
  2. [技術者向] 製造業・ものづくり
  3. 電子・半導体・化学
  4. 電子部品・基板部品

関連するQ&A

  • レジストについて

    5cm角のガラスにレジストを塗布し、スピンコートで薄く引き延ばしているのですが、中心部分はきれいに平らになるのですが、端にレジストが集まってしまうため盛り上がってしまい、ガラス面全体に均一に広がりません。 今は最後に短時間、高回転数で端に集まったものを飛ばしているのですが、やはり若干残ってしまい限度があります。 よい方法があれば教えていただけませんでしょうか？

  • プリント基板加工工程での問題点

    PWB（プリント・ワイヤリング・ボード）をコア材からプリプレグを挟み、プレス工程にかけ、感光・露光・エッチング・ドリル加工・レジスト処理等々の各工程で、さまざまな管理項目や、問題点があると思います。是非参考にさせて頂きたく、質問を掲載させていただきました。「サブトラクティブ法」の1.6t、4層、FR-4の場合でお願いいたします。 また、ドリル径0.4の場合、加工する時のPWB重ね枚数や、送りSpeed、回転数等々も宜しければお願いいたします。 プレスのノウハウがあればお願いします。1次、2次のプレス温度・時間・圧力・プレス方式（真空or油圧）等々 細かくなってしまいましたが何卒よろしくお願いいたします。

  • 白背景時の多重露光法は？

    http://sankei.jp.msn.com/science/expand/120522/scn12052217580002-l1.htm を見て「なるほど、多重露光ならば真っ黒な Sky Tree も Detail を出せるのだなぁ。さすが Pro'、Angle ピッタシだし、19 Shot で画像破綻もないし・・・んんんっ？ 約 5 分の多重露光で雲ってこんなに綺麗に撮るかぁ？(汗)」と、関心したものの、やや疑問が・・・。 http://twistedsifter.com/2012/02/picture-of-the-day-striking-multiple-exposure-shot-of-takeoffs-at-hannover-aiport/ を見ると「太陽を背にして ND400 (3 号) でも被せたのか、広角 Lens のケラレが強調されていたりブレや異なる反射光の蓄積が Diorama 効果を生み出しているこちらの方が納得できるのだけれど、背景が白い雲なのにこれほどの回数の多重露光を行なっても飛行機の Paint 部が透けて霞がかってしまわないのは何故？」とますます疑問が・・・。 まあどちらも相当な Post Production を行なっていると考えれば納得が行くのですが(汗)・・・。 疑問点は「背景が白っぽい時に背景の露光が目標物を霞ませてしまわないようにする方法はあるのか？」というものです。 愛機 PENTAX K-r には 2～9 Shot までの多重露光 Mode があり、多重露光時の露出補正も行なってくれているようなのですが、「背景が明るいと露光時間の短い手前の被写体が亡霊化(笑) するのは回避し難い」という状況の補正までは行えないようで、毎回 Photoshop で手前の被写体のみを補正してしまいます。・・・そうまでするのならば初めから Photoshop で切り貼りした方がマシとも言えるので(笑)、何とか巧い方法はないものだろうかと考えあぐねています(汗)。

  • パソコンが熱くなる。その対処法は？

    http://www.dreamsys.co.jp/product/end/jl2285.htmlを使ってるんですが、長時間使ってるとＣＰＵのあたりが暑くなってきて、ファン（換気扇）がいつも以上にまわります。 ＸＰとかだと、電源を入れた時にファンが最高回転しますが、温度が熱くなると、このファンが常時最高回転しようとします。モーターの音がうるさく困っています。 １．常時ファンを回転させとくソフトってありますか？ ２．ＣＰＵが熱くなるとはやりパソコンに影響するのでしょうか。 ３．水冷などがありますが、http://www.dreamsys.co.jp/product/end/jl2285.htmlにも水冷つけられますか？

  • ラクザ 7 と ラクザ X 違い　その１

    【１】ヤサカのホームページ ラクザ X 　シリーズ最高のグリップ力、圧倒的な安心感 　5,200円（＋税） 　RAKZA XはNSS(*)によりどんな状態からでも摩擦した分だけ確実に回転をかける事が可能になります。また、従来のラバーよりも長くグリップしている感覚があり、抜群の安心感と安定感を誇ります。 硬めのパワースポンジを組み合わせる事で十分な弾みと飛距離を持ち、相手の回転に負けない力強いドライブ攻撃に最適なラバーです。 　＊NSS: ノンスリップシート 〔Slipとは…強烈な回転がかかったボールに回転をかけ返す際に、稀にエネルギーロスが起こり十分な回転がかからない場合のこと〕 　スピード １１　スピン １３＋　コントロール １０　硬度　４５～５０度 ラクザ 7 　強烈なスピンを安定して作り出すトップ仕様ラバー 　5,000円（＋税） 　グリップ力抜群のトップシートとハードな「RAKZA」スポンジが強烈なスピンを持つ重い打球を作ります。高いパワー伝導率により強打時にも思い通りの弾道を作り、プレーヤーの力を正確に映し出します。 　スピード １１　スピン １４　コントロール ９　硬度　４５～５０度 ～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～～ とヤサカの説明ですが、僕および卓球クラブの会員で フォアとバックに ラクザ ７、ラクザ X を貼り、比較した所 ラクザ X の方がシートが硬い そのため、ラクザ X の方が強打で安定する しかし、普通のフォア打ちではラクザ X の方が硬く、球離れが良い ＝ グリップしている時間が短い と、ヤサカの説明と逆の意見が多いでした みなさんは、どっちのラバーの方が長くグリップしてると感じましたか？

  • BIOS画面でのCPU温度が最高１００度以上に

    CPUの温度表示について質問させていただきます。 当方のPCはドスパラのショップブランド品なのですが、 CPU Athlon64X2 5000＋ MB ASUS M3A　AMIBIOS MEM Samsung PC2-6400 2GB VGA GeForce8600GT OS WindowsXP HOME SP3 以前ここで起動時のビープー音について質問させてもらってから 何度もBIOS設定画面を開いては色々試しているのですが、 たまにハードウェアモニターを見ると、だんだんとCPU温度が上がって 行って、最高101度にまで表示されました。 Smertfan機能もオンにしているので、当然CPUFANは全開です。 しかしながら、その温度でも落ちることはなく、 Windowsを起動するとだんだんFANの回転も落ちてくるので、問題なく 使えています。 まだ保証期間中なのでドスパラに持ち込めば良いのですが、 昼間の時間がとれないのです。 この状態って、単にCPU温度の感知が誤認してるって考えてもいいのでしょうか？ どなたか安心させてください。

  • 物理数学における　０の反対はなんでしょうか　困っています

    1秒は10万Kのエネルギーを持ち、 0Kの反対の温度は1000kです。＞NASAの仮説 まず、時間と空間の等価原理＝時間が斥力、空間が引力であり、 これが重力、陽電子、電子＝核子の回転の方向および回転数 これによる確率的な電磁気力、強い相互作用、 弱い相互作用があります。 これらは時空間の温度　圧力　速度の三要素から ０次元＝時間から、１次元＝時空間、２次元＝電荷時空間 ３次元＝クォークの力が発生、原子間力により４次元に 温度圧力速度の変化により次元が変化します。 よって、数学的　０の反対は、温度では約１０００兆度 なのですが圧力は約何気圧ですか？ 温度１０００兆度と最高圧力から超光速航行に必要な 加速時間系の最高速おそらく１０ｘ２７plexｋｍ/sec程度ですが 無論静止時間系では３０万KM秒が限界です。 粒子加速器で素粒子にエネルギーを与えて加速すると引力が 増し時間が遅れます、逆に太陽や＝地球＝内部で起きている ＝核分裂＝反応はエネルギーを失う現象の為、斥力が発生します。 アイザック・ニュートンの万有引力の法則は間違っており 低温真空では引力が、高温高圧では斥力が強くなります。 すべての物質の表面に引力が発生しているのです。 よって核融合は低温真空で引力の強い水素が自然に するものです。逆に高温高圧固定では核分裂が自然に発生します。 太陽の表面で起きているのは核融合です。 よってホワイトホールは宇宙を支えています。 圧力の正確な数値が分かれば救かります。ｍ（＿　＿）ｍ ありがとうございました。

  • suになれない

    FreBSDを勉強しようと初めてインストール（4.4）したのですが一般ユーザーからsuになろうとしてもsu: you are not in the correct group (wheel) to su root.というメッセージが出てなれないのですがどうしてなのでしょうか？あとrootでログインの際に入力でコマンドなどの途中でTABキーを押せば残りが出てくるのですが、これを一般ユーザーでログインしてやるとrootの時のようにならないのですがなぜなのでしょうか？ご教授頂けたら幸いです。

  • su できません

    http://sunfreeware.com/indexsparc9.html で coreutils-4.5.4-sol9-sparc-local.gz をインストールしてから su -, su , su username をすると su: incorrect password といわれ su できません。 どのようにすれば su できるのでしょうか。 coreutils-4.5.4-sol9-sparc-local.gz をインストールするまでは su はできました。 また、環境は solaris9 です

  • suが出来ない

    FreeBSD初心者なのですが、コンソールから一般ユーザーから rootに代わろうとsuでパスワードを打ったのですが、 間違えたパスワードを何度も打ってしまったら、 %su Password: su: Sorry と表示されsuもリブートも出来なくなってしまいました。 どのようにしたら回避できますか？

注目のQ&A

カテゴリ

専門家に質問してみよう

職業から探して質問する

あなたにピッタリな商品が見つかる！ OKWAVEセレクト

質問する