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真空蒸着の構造
ImprezaSTiの回答
No.4です。 90Torrということですが、真空蒸着には、全く使えません。多分、油回転ポンプと思いますが、それだけでは能力不足です。 高真空にする必要がありますので、・油拡散ポンプ ・ターボ分子ポンプ ・クライオポンプ を使って下さい。 但し、ポンプだけ使っても、実圧力は分からないので、何度も書きますが、真空状態を把握するために、真空放電にて真空状況を把握するのです。 真空放電ですが、最初は、放電し出すとピンク色に発光しますが、その内にグロー放電に移り、ピンク色が少なくなり、真空度が高くなるにつれて暗くなってきます。その状態を見てから、真空蒸着を開始します。 折角ですので余談ですが、金(きん)をガラス面に薄く蒸着すると、透過光は緑色に見えます。 (通貨偽造罪になるので、やってはいけませんが)10円玉にアルミ蒸着すると、ぱっと見、100円玉に見間違います。(学生のときに遊んでいました)
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お礼
ありがとうございます。 なるべく手持ちのものだけで自作しようと思っていたので残念です。