- ベストアンサー
真空蒸着の構造
ImprezaSTiの回答
- ImprezaSTi
- ベストアンサー率26% (534/1995)
補足に対してです。 「絶対真空は-101325Pa」とありますが、これは大気との相対圧力です。 絶対圧は、高真空で 0.1～10^-5 Paです。この程度になると、相対圧力は使いません。で、普通のゲージ式メーターでは分からないので、代わりに真空放電を使って放電状態を目で見て確認します。 あと、アルミの溶解状況を確認するための窓ですが、当然、窓にも付着します。が、窓面までの距離が離れるほど、付着量が薄くなるので、数百mm程度離れれば、フィラメント自体が発光するので、数回は確認できるでしょう。 で、何回か蒸着すれば、当然、窓面に蒸着したアルミの膜厚が厚くなって確認しにくくなるので、そこのアルミをはぎ取るのです。学生実験では、全体がガラス瓶のため、てきとーなところでガムテープを貼って、その粘着力で剥いでいました。装置であれば、内面にサランラップの様なもので被い、使い捨ての様にしていくとよいでしょう。
関連するQ&A
- 真空蒸着について・・・
２機の真空蒸着機を使って蒸着を行っているのですが、片方の１機の蒸着の色？が白っぽい曇ったような色をしていて、もう片方の蒸着機の蒸着の色が全然曇りがない色になっているのです。 何回も真空度を変えてみたり試してみたのですが２機の蒸着機が同じ色になる事がないです。 蒸着の色が曇ったり、曇りがなくなったりするのは何が関係しているのでしょうか・・・ どなたか分かる方回答お願いします。 ちなみに材料は錫（Sn）です。
- ベストアンサー
- 科学
- 真空蒸着、抵抗加熱でのスプラッシュ対策
皆様いつもお世話になっております。 表題の件ですが、当社では樹脂に下地塗装後、真空蒸着（イオンプレーティング）しております。蒸着材はアルミ（99.99）蒸着方法はタングステンフィラメントによる抵抗加熱です。 最近フィラメントの線径1.0?の2本撚り線から0.65?の3本撚り線に変更したのですが、どうもスプラッシュが頻繁に発生し、アルミ付着（アルミ玉付着？）が多くなり困っております。 スプラッシュを抑えるよい方法はないでしょうか？ よろしくお願いします。
- 締切済み
- メッキ
- 真空蒸着
専門家の方には基本的な質問で申し訳ございません。 現在、有機物の膜を積層したデバイスを作成しています。 ITO透明電極上に、有機膜を積層し、対極に金を真空蒸着でつけています。真空蒸着 装置は、抵抗加熱型のもので、タングステンのバスケットに金のワイヤーを切ったも のをいれ、加熱して蒸着しています。膜厚は40-100 nm程度です。 アルミニウムで作成したときには、ショートはしませんが、金で行うとすべてオーミ ックな応答を示す、つまりショートした状態になっています。 このような状況を回避する方法はなにかご存知ありませんでしょうか。 よろしくおねがいいたします。
- 締切済み
- 電子部品・基板部品
- 真空蒸着機でマグネシウムを蒸着できるでしょうか
真空蒸着機を用いてガラス基盤に、薄膜を蒸着したいと思っています。その際、マグネシウムを蒸着することはできるのでしょうか？ 知識のある方、教えてください。お願いいたします。
- 締切済み
- 化学
- 真空蒸着
専門家の方には基本的な質問で申し訳ございません。 化学のカテゴリに掲載させていただきましたが、こちらのほうがデバイスの内容は適切だと言うご指摘をうけ、こちらにも掲載させていただきました。 現在、有機物の膜を積層したデバイスを作成しています。 ITO透明電極上に、無機半導体、有機膜数層を積層し、対極に金を真空蒸着でつけています。真空蒸着装置は、抵抗加熱型のもので、タングステンのバスケットに金のワイヤーを切ったものをいれ、加熱して蒸着しています。膜厚は40-100 nm程度です。 アルミニウムで作成したときには、ショートはしませんが、金で行うとすべてオーミックな応答を示す、つまりショートした状態になっています。 このような状況を回避する方法はなにかご存知ありませんでしょうか。 よろしくおねがいいたします。
- 締切済み
- 物理学
お礼
ありがとうございます。 絶対圧とゲージ圧の違いについて自分なりに調べてみました。 違いは理解したのですが、ネット上にある圧力単位の換算表を見るとやはり意味がわかりません。 今持っている真空ポンプに90Torrと書いてあるのですが、表で換算すると11,998.8Paとなりますがこれは蒸着に使えるポンプでしょうか、それともターボ分子ポンプが必要でしょうか。 窓への蒸着の件、具体的に説明いただいて良く理解できました。