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CVDについて教えて下さい。

noname#211914の回答

noname#211914
noname#211914
回答No.5

以下の参考URLサイトは参考になりますでしょうか? 「フラーレン生成過程の分子動力学」 ◎http://www.drmi.co.jp/kankou/dirass/dirass_tech/furontiacarbon/ (フロンティアカ-ボンの現状と新展開) さらに成書としては、 ---------------------- PVD・CVD皮膜の基礎と応用/表面技術協会/槙書店/1994.9  CVDハンドブック/化学工学会/朝倉書店/1991.6  プラズマCVD及びプラズマ溶射によるバリアー型耐食…/門哲男/通商産業省工業技術院…/1990.10 -------------------- 補足お願いします。

参考URL:
http://www.photon.t.u-tokyo.ac.jp/~maruyama/fullmd/jsme2/anneal.html

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