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CVDについて教えて下さい。
kent-mildsの回答
- kent-milds
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えっと、CVDがChemical Vapor Depositionだったら補足します。 CVDの半導体への応用ですが、半導体や液晶ディスプレイの製造では 薄膜形成→光感光体塗布→感光→感光部剥離→エッチング→光感光体剥離 と言う行程が多数入っています。 この薄膜形成で使われる技術です。 薄膜形成技術はCVDの他にPVDも使われます。 PVDとはPhysical Vapor Depositionの略です。 蒸着とか、スパッタリングなどがあります。 半導体では・・・ CVDは相間絶縁膜(SiO2など)、多結晶シリコン膜など、 PVDはアルミ、タングステンなどに使われています。
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