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CVDについて教えて下さい。
takesamaの回答
- takesama
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Chemical Vapor Deposition（化学気相析出）のことでしょうか。 ”薄膜や粒子にしたい材料の構成元素を含む化合物の１種類以上の原料ガスを反応部に供給し、気相または基板表面での化学反応により微粒子や薄膜を作製する方法である。”とありますが、クリーンルームの工場などで見かけますね。 違う分野のことだったらごめんなさい。
noname#211914
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