最高分解能・精度のリニアエンコーダー

質問

現時点で、市販・特注品問わず産業用で入手可能な超高分解能リニアエンコーダーの分解能・精度について何か情報をお持ちでしたら教えて下さい。方式は特に問いません。
最先端の物がどの位の性能が出ているのか知りたいと思います。よろしくお願い致します。

回答No.1

noname#11466 · ベストアンサー

数十nm以下はでているでしょう。
最も微細加工を要求されるのは半導体のスキャニングステッパーのステージだと思います。現在線幅ルールの主力は１３０ｎｍに移行し始めて最先端は６５ｎｍです。

マスクとウエハを同期させて動かして上記線幅の回路を書き上げるのですから。
ただ詳細は企業秘密でしょうけど。

お礼

返事が遅くなり申し訳ありませんでした。
nmオーダーが実現できているのかどうか知りたかったので大変参考になりました。誠にありがとうございました。