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一定直流電源を可変にするには・・・
cswhiteの回答
- cswhite
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CVDで薄膜を形成させるのであれば,交流電源の方が容易ではないでしょうか。 プラズマ中のイオンにバイアスをかけるのに直流電源を使えばいいと思います。 交流電源なら,可変CとLで,放電チェンバのCとを整合させることで,意図する最大の パワーを供給できるのではないでしょうか。 CVDに詳しい方の補足をお願いします。
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