一定直流電源を可変にするには・・・

質問

交流200Vから、一定直流500V電源に接続します。
これを可変の電源にするには、スライダックやトランスを使えば出来るのでしょうか？
使用目的は、プラズマCVD(化学的気相蒸着法)のプラズマ発生に使用します。

回答No.2

foobar

入力：交流200V
出力：直流500V
の電源の出力電圧を可変にしたい ということでしょうか?

そうだとして，

電源のタイプによりますが，
1. 単に昇圧，整流している電源なら，入力電圧をトランスなどで下げれば，出力電圧は下がります．
2. 電圧安定化回路が入っている電源では，入力電圧を下げても出力電圧は下がりません．電源装置についている出力電圧調整機能を使って，電圧を下げることになります．出力電圧が調節できない電源の場合，，電源を取り換えた方が良いような，，．

市販の直流電源だと，大抵は２．の電圧安定化回路の入っているタイプかと思います．

回答No.1

cswhite

ＣＶＤで薄膜を形成させるのであれば，交流電源の方が容易ではないでしょうか。
プラズマ中のイオンにバイアスをかけるのに直流電源を使えばいいと思います。
交流電源なら，可変ＣとＬで，放電チェンバのＣとを整合させることで，意図する最大の
パワーを供給できるのではないでしょうか。
ＣＶＤに詳しい方の補足をお願いします。