水晶への金属蒸着

質問

現在、水晶基盤への金属蒸着を行っています。
装置は電子ビーム加熱型の真空蒸着装置を利用しています。

金属膜の厚みは100 nm程度で、バッファーとしてチタンを5 nm程度を使用しています。

この条件で製作した基盤を実験に用いているのですが、実験途中に簡単に金属膜がはがれてしまいます。
よりはがれにくい金属膜を生成するため、何か良い方法はないでしょうか？

回答No.2

ohkawa3 · ベストアンサー

回答(1)さんのご指摘のほか、
真空チャンバーの真空度や蒸着時の水晶基盤の温度などが密着強度に影響を
与えると思います。

補足

回答いただきありがとうございます。

真空度は10^(-4) Paのオーダーです。
蒸着時の水晶基盤の温度は最初は室温程度(25℃前後)ですが、蒸着開始と同時に温度が上がっていると考えられます。

回答No.1

nagata2017

表面洗浄ができていないとか　そんな単純なことだったりしませんか。

補足

回答いただきありがとうございます。

水晶基盤は基本的に硫酸に浸けておき、純水で洗浄してから蒸着直前まで純水に浸けてあります。

この方法だと表面はきれいな状態に保たれているとは思うのですが...