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真空蒸着装置での雰囲気圧力と蒸気圧について

真空蒸着装置での雰囲気圧力と蒸気圧について 真空蒸着装置にて、真空度が10^-5Pa程度である場合、蒸気圧が3000℃で10^-9Paの物質は蒸気になることが出来ないのでしょうか?

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noname#160321
noname#160321
回答No.1

飽和蒸気圧がありますから、昇華するはずです。ですが、その圧力は小さいでしょう。 やはり、融点付近で行なうと効率が良いでしょう。 他の分子が酸素だったりすれば酸化物が沈積するハメになります。

tyr9
質問者

お礼

回答ありがとうございました。 蒸気圧(この場合は昇華圧)についての理解が不足しているようで申し訳無いのですが、 雰囲気圧力よりも蒸気圧の方が低いのに昇華するというのがよくイメージできません。 例えば、大気圧下で密閉容器にある物質を封入た場合、容器内の圧力は大気圧+物質の飽和蒸気圧となり、なので最初の質問の場合では、10^-5Paの雰囲気+物質の蒸気圧10^-9Paとなるようにわずかではあるが昇華していくという理解で良いのでしょうか?

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