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アルミニウム薄膜の真空蒸着について！

2008/12/02 15:57

アルミニウム薄膜の真空蒸着について質問があります！反射膜としてアルミニウム薄膜を作製しているのですが、たぶん蒸着中にアルミニウムが酸化されて白っぽい膜になってしまいます。みなさんはどのようにして作っていますか？作製条件は、到達真空圧：２×１０^－３Ｐａ以下、レイト：２～３Å／ｓ、使用ボートはＢＮボートです！