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電極の取り方
酸化チタン(TiO2)のルチル単結晶に金属電極を真空イオンビーム蒸着で付けたいと思っています。 どのような種類の金属であればオーミック特性が得られるのでしょうか? また、その電極を薬液処理で取るとしたら、どのような酸やアルカリ溶液が適しているでしょうか。 以上2点お願いいたします。
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一般的にはよくIn-Ga合金で酸化チタンに接触を取ると オーミックコンタクトになるといわれています。 「電極を取る」というのは取り除くという意味でしょうか? 酸化チタンは熱濃硫酸などの、濃い酸以外にはほとんど溶けないので、電極の金属をよく溶かす酸で洗えば良いと思います。 オーミック特性については、酸化チタンの仕事関数がよくわからないので、なんとも言えませんが、 各金属の仕事関数(eV)は以下の通りです、参考になれば幸いです。 I 2.8 Pm 3.1 Gd 3.1 Tb 3.1 Dy 3.1 Ho 3.1 Er 3.2 Tm 3.2 Lu 3.2 Sm 3.25 Ra 3.25 Th 3.3 U 3.3 Sc 3.3 Y 3.3 Nb 3.3 Hf 3.5 Mg 3.65 Tl 3.7 In 3.8 Mn 3.8 Be 3.9 Ti 3.9 Zr 3.9 Si 4.0 参考 「電極および電極関連材料」 須藤 一 著
お礼
お返事ありがとうございました。 参考であげて頂いている本を一度確認して みたいと思います。