金の蒸着について
- 金の蒸着について詳しい方、専門業の方がいらっしゃいますか？
- ガラス板に金を蒸着させる際の蒸着厚さの管理の精度について教えてください。
- 金の蒸着厚さの確認方法について、抵抗を用いたものが一般的なのか知りたいです。
- ベストアンサー
金の蒸着について
はじめまして。 蒸着に詳しい方、専門業の方がいらしたら教えていただけないでしょうか。 ガラス板に金を蒸着させたいと考えております。（真空蒸着） 蒸着厚さは、50nm位にしたいのですが、蒸着厚さの管理（精度）はどの位まで可能かしりたいのですが。 又、蒸着厚さの確認は、抵抗を用いたものが一般的なのでしょうか？抵抗測定だと膜厚の確認精度が低いのではと感じただけですが、この辺のお話をいただければと思っています。
- その他（表面処理技術）
- 回答数1
- ありがとう数2
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
- ベストアンサー
成膜中の膜厚管理は水晶発振式膜厚コントローラーをよく使用します。 成膜後の膜厚測定は触針式表面形状測定器で測定します。 参考ＵＲＬ参照 私のまわりではこれが一般的ですが他にもいろいろあると思います。 ＵＬＶＡＣなどに相談するとよいでしょう。
関連するQ&A
- 真空蒸着
専門家の方には基本的な質問で申し訳ございません。 現在、有機物の膜を積層したデバイスを作成しています。 ITO透明電極上に、有機膜を積層し、対極に金を真空蒸着でつけています。真空蒸着 装置は、抵抗加熱型のもので、タングステンのバスケットに金のワイヤーを切ったも のをいれ、加熱して蒸着しています。膜厚は40-100 nm程度です。 アルミニウムで作成したときには、ショートはしませんが、金で行うとすべてオーミ ックな応答を示す、つまりショートした状態になっています。 このような状況を回避する方法はなにかご存知ありませんでしょうか。 よろしくおねがいいたします。
- 締切済み
- 電子部品・基板部品
- 真空蒸着
専門家の方には基本的な質問で申し訳ございません。 化学のカテゴリに掲載させていただきましたが、こちらのほうがデバイスの内容は適切だと言うご指摘をうけ、こちらにも掲載させていただきました。 現在、有機物の膜を積層したデバイスを作成しています。 ITO透明電極上に、無機半導体、有機膜数層を積層し、対極に金を真空蒸着でつけています。真空蒸着装置は、抵抗加熱型のもので、タングステンのバスケットに金のワイヤーを切ったものをいれ、加熱して蒸着しています。膜厚は40-100 nm程度です。 アルミニウムで作成したときには、ショートはしませんが、金で行うとすべてオーミックな応答を示す、つまりショートした状態になっています。 このような状況を回避する方法はなにかご存知ありませんでしょうか。 よろしくおねがいいたします。
- 締切済み
- 物理学
- 真空蒸着した薄膜の厚さについて（アモルファス）
学生実験にて、真空蒸着法による薄膜の作製を行い、厚さを測定しました。 実験方法は、蒸着金属にビスマス(Bi)を用いて、アルミの薄膜が蒸着されたガラス板に蒸着を行いました。このとき、真空蒸着装置のベルジャー内の真空度を5.0×10^-3Pa-以下としています。 そして、作成した薄膜の厚さを測定したところ、計算による薄膜の厚さよりも2割ほど厚くなりました。 その原因ついて、担当の方に質問したところ、蒸着された金属がアモルファスな状態となったためだと説明されました。 しかし、アモルファスについて調べたのですが、薄膜が2割も厚くなる原因となるようなことを見つけることができませんでした。 そこで質問ですが、 １、薄膜が厚くなる原因は本当にアモルファスなのか？ ２、もしアモルファスが原因ならば、どうして厚くなるのか？ 教えてください。 ２に関してですが、自分でも詳しく知りたいと考えていますので、アモルファスについて分かりやすく（詳しく）書かれた文献がありましたら紹介して頂けるとありがたいです。 宜しくお願い致します。
- ベストアンサー
- 物理学
- 真空蒸着機でマグネシウムを蒸着できるでしょうか
真空蒸着機を用いてガラス基盤に、薄膜を蒸着したいと思っています。その際、マグネシウムを蒸着することはできるのでしょうか？ 知識のある方、教えてください。お願いいたします。
- 締切済み
- 化学
- SiOx膜の蒸着について
SiOx膜を抵抗加熱で蒸着したいのですが、方法知っている方いませんか。EBでの蒸着はよく目にするのですが、抵抗加熱でしか装置がないもので・・・。文献を調べていたら一応抵抗加熱で蒸着のような書き方をしていたので、抵抗加熱でも蒸着できるのでしょうか？ よろしくお願いします。
- 締切済み
- 物理学
- アルミ蒸着ガラスの反射率の波長依存性
アルミ蒸着ガラス板の反射率の波長依存性を教えて下さい。 板ガラスの厚さは25 mmで素材は一般に使われているものです。 知りたいのはこの反射板の波長607 nmと660 nmの反射率の比です。 この反射板を使うと、使わない場合と比べて反射率の比が30%程度変化します。この原因がわかりません。 反射板は少し劣化していて、蒸着面がとれている箇所もあります。反射率は532 nmで10%程度です。 よろしくお願いします。
- ベストアンサー
- その他（学問・教育）
お礼
早々に回答をいただき、本当に有難う御座いました。 もう少し勉強してから質問させていただこうと思っていたのですが、あまりに専門外だった為、何をどう調べたら良いかもわからない状態でした。 本当に助かります。 今後とも、よろしくお願い致します。