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連続炉のエキゾーストパイプについて
noname#230359の回答
小生も専門家でないし、設備を熟知していないのですが、 半導体のWETプロセスでも、シリコンという石を高濃度の塩酸や硫酸、硝酸等の酸やアルカリ液 を駆使し、エッチングし微細なパターンを形成するので、その装置には加圧用供給ポートと 吸気用の排気ポートがあり、その量を調整し、 搬入→|与圧ゾーン||陰圧ゾーン||与圧ゾーン||陰圧ゾーン||与圧ゾーン|→搬出 の構成で、雰囲気が混ざらない配慮をします。 搬入→|与圧ｿﾞｰﾝ;ﾛｰﾀﾞｰで､ｳﾙﾊﾟｰ等により､異物が無いｸﾘｰﾝｴｱで与圧、搬入口からのｴｱ侵入もｶｯﾄ| |陰圧ｿﾞｰﾝ;薬液槽からのﾋｭｰﾑの拡散をﾀﾞｳﾝﾌﾛｰと併用で防止||与圧ｿﾞｰﾝ;水洗槽でのｸﾘｰﾝｴｱで与圧| |陰圧ｿﾞｰﾝ;薬液槽からのﾋｭｰﾑの拡散をﾀﾞｳﾝﾌﾛｰと併用で防止||与圧ｿﾞｰﾝ;水洗槽でのｸﾘｰﾝｴｱで与圧| |陰圧ｿﾞｰﾝ;薬液槽からのﾋｭｰﾑの拡散をﾀﾞｳﾝﾌﾛｰと併用で防止||与圧ｿﾞｰﾝ;水洗槽でのｸﾘｰﾝｴｱで与圧| にて、|与圧ｿﾞｰﾝ;水洗槽ｸﾘｰﾝｴｱで与圧|がｴｱｶｰﾃﾝの役割を果たし、薬液槽からのﾋｭｰﾑが混ざり難い |与圧ｿﾞｰﾝ;ｱﾝﾛｰﾀﾞｰで､ｳﾙﾊﾟｰ等でのｸﾘｰﾝｴｱで与圧、搬出口からのｴｱ侵入もｶｯﾄ|→搬出 簡単には、ｴｱｶｰﾃﾝを作っているのではないでしょうか？
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