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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:石定盤の低露点での使用可否について)

石定盤の低露点での使用可否について

noname#230359の回答

noname#230359
noname#230359
回答No.5

真空チャンバーに石材を入れることは特別な理由が無いかぎりしないほうが良いと聞いていましたが、石定盤の平面を利用して真空チャンバーを形成したことがあり、特に問題は無かったと記憶しています。 定盤の上にOリングシールの付いた防止のような形状の真空容器をかぶせただけの簡単な構造です。 ただ、高真空を狙うのは難しいようです。これまでの回答者の方々から指摘されたとおり、真空側に石に含まれている水やその他の分子が出てきます。 回答者(2)さんの仰るように、セラミックスなら問題ありません。

noname#230358
質問者

お礼

実経験でとても参考になりました。ありがとうございます。 石に含まれている成分が出て来ることで、定盤の精度やシール性に変化がなかったのかが気になります(水分抜けで歪み発生の懸念)。いかがでしょうか。 セラミックスは形成できるサイズ限界があるようなので、良いのは分かりますが石材の次点扱いとなっています。

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