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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:クロムつきの石英を取り扱っている業者を探してます)

クロムつきの石英を取り扱っている業者を探してます

このQ&Aのポイント
  • SiO2基板上にクロムがついた石英基板を取り扱っている業者を探しています。
  • 縦横100mmx100mmのSiO2基板上に厚さ70nmのクロムが付いた石英基板を取り扱っている業者を教えてください。
  • クロムつきの石英基板を取り扱っている業者を知っている方、ご連絡をお願いします。

質問者が選んだベストアンサー

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noname#230359
noname#230359
回答No.1

用途や要求スペックがわからないので何とも言えませんが、ガラス基板の厚みが約1ミリとかCrの膜圧約70nmなどアバウトな話という前提で委託真空蒸着の業者を検索すればいかがですか?EB(電子ビーム)真空蒸着機やスパッター蒸着機を持っているところならできると思います。サブミクロンのフォトリソに使うとか位相シフトでやるとかいう話だと石英ガラスの脈理とかCr膜圧の均一性等が問題になるので大手のフトマスク屋さんにブランクマスクを依頼することになりますが・・・。

noname#230358
質問者

お礼

ありがとうございます. そうですね,ブランクマスクを探す手がありました. 早速ブランクマスクを探してみます.

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