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分光測定データによるnkの算出方法について
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亀レスですみません。 > n(薄膜屈折率)<nm(基板屈折率)の場合、... 上記の場合も、山と谷が反転するだけで、状況は「n(薄膜屈折率) >nm(基板屈折率)の場合」と同じです。 なので、「n(薄膜屈折率)>nm(基板屈折率)の場合」が"例題"に 従って求められるなら、上記の場合も同じくできるはずだと思います。
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- paddler
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単層膜であれば、エリプソメータでなくても、通常の分光光度計で 波長の関数として反射スペクトルを測定すれば、そこからnとkを 波長の関数として算出することができます。 詳しい説明は、「応用光学」など一般の光の教科書には必ず載って います。ウェブでは、下記などが参考になるでしょうか。 http://www.nsg-ntr.com/TIME/opt.htm
補足
ご回答有難うございます。 「光学薄膜の基礎理論(小檜山光信著)」より、 n(薄膜屈折率)<nm(基板屈折率)の場合、 n=SQRT[{nm^2*Tf+nm*(1-SQRT(Rf))^2}/{Tf+nm*(1+SQRT(Rf))^2}] という式が記載されており、この式を使用してnを算出したいと考えております。 この時、用いるRf及びTfは、分光透過特性(分光光度計で測定した波長の関数)でいうところの何処を使用して算出すれば宜しいのでしょうか? n(薄膜屈折率)>nm(基板屈折率)の場合は、 例題があり、分光透過特性の谷ピークを使用して求めています。
- boson
- ベストアンサー率59% (44/74)
分光測定と言ってもどのような測定をなさったのかわからないのですが、 それがもし分光エリプソメトリだったのでしたら下記URLが参考になると思います。
補足
ご回答有難うございます。 分光光度計で測定しています。 そして、現在問題としているところは、 「光学薄膜の基礎理論(小檜山光信著)」より、 n(薄膜屈折率)<nm(基板屈折率)の場合、 n=SQRT[{nm^2*Tf+nm*(1-SQRT(Rf))^2}/{Tf+nm*(1+SQRT(Rf))^2}] という式が記載されており、この式を使用してnを算出したいと考えております。 この時、用いるRf及びTfは、分光透過特性(分光光度計で測定した波長の関数)でいうところの何処を使用して算出すれば宜しいのでしょうか? n(薄膜屈折率)>nm(基板屈折率)の場合は、 例題があり、分光透過特性の谷ピークを使用して求めています。
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