• ベストアンサー
  • すぐに回答を!

膜厚の測定について

膜厚の測定について 下のURLのピークバレー法のところに 次のように書いてあります。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 測定された分光反射率値のピーク及びバレーの周期性から 膜厚を算出する方法で、単層膜測定に有効です。複雑な設 定が不要のため、簡単に求めることができます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー ここで言う”分光反射率値”とはなんでしょうか? また、どうして周期性から膜厚が求まるのですか? http://www.olympus-ims.com/ja/metrology/lens-spectral/uspm-ruw/

共感・応援の気持ちを伝えよう!

  • 回答数1
  • 閲覧数707
  • ありがとう数0

質問者が選んだベストアンサー

  • ベストアンサー
  • 回答No.1

波長λと干渉角θと結晶格子の間隔d の間の関係を与える ラウエの結晶格子の実験と 原理は同じなのでは。 結晶格子の間隔dを 薄膜の厚さに置き換えれば。

共感・感謝の気持ちを伝えよう!

関連するQ&A

  • GaNの試料の膜厚の求め方

    サファイア基板のGaNの試料の厚さの求め方を教えてください。 分光器を使いGaNの波長と透過率を測定をしたのですが、 その実験結果から膜厚を求めなければならないのに求め方がわかりません。 GaNは光の波長が長くなると順当に上がっていたのが透過率が上がりますが、ある地点から透過率が上がったり下がったするのは何か関係があるのでしょうか?

  • 搬送フィルムの膜厚測定

    以下の条件で、搬送中フィルムの厚み測定可能なものを探しております。 ・測定対象・・・透明体 ・非接触測定 ・フィルム端部の厚みを見たい ・フィルム厚み40~100μm ・要求精度±1μm ・計測範囲・・・±5mm以上 ・センサをフィルムから最低でも20mm以上離したい               ■(反射型レーザー変位計) ______________↓   ↑            ○ ←ロール フィルム           |                |←フィルム                | 上図のようにロール上で膜厚を測定しようとすると、 ・ロールの偏芯、センサ移動機構のガタツキ等が外乱になる  (特にレーザー変位計が) という理由で、測定は出来るが満足な測定データが得られません。           ■(反射型レーザー変位計)           ↓ ______________  ↑        ↑   ○ ←ロール フィルム      ■    |   (反射型レーザー変位計) |←フィルム                | 次に機械的精度の限界を上図のようなイメージでカバーしようとしました。 フィルムの上下にレーザー変位計設置し、 フィルム上下の変位の合算で膜厚を測定するシステム。 こうすると、 ・測定しようとしているフィルムは、  端部より10mm内側からカール状に反ったりする為、  角度及び変位が変化する。角度的には60°ぐらい反っている印象。 ・バタついたりし、張力によってもフィルムの位置(変位)が数μm、  常に変化したりする。 こういった理由で、特に測定対象が透明体のため、測定対象から反射する 受光波形が満足に取れず、まるきり測定できません。 ポイントは一番見たい箇所がフィルムの端部であるのですが、 そこが反ったり、バタついたりしているので中空を走っているフィルムの 厚みを測定するのが困難であり、 ロール等で位置を矯正したものの上を測定すると、 機械ガタの影響をもろに受けてしまう点です。 こういった状況下で安定してフィルムの厚みを測定できるものを探して おりますが・・・ 何か良いものはないでしょうか?

  • 金スパッタ膜厚とレーザー透過率

    キーエンスのレーザー顕微鏡(VK-8500)にてポリイミド膜上の銅再配線の膜厚を測定したいのですが、ポリイミドをレーザー(650nm)が透過してしまいうまく測定出来ません、そこで金をスパッタリングしてポリイミド表面にて反射させようと思います。 その際に必要となる金スパッタ膜の膜厚は最低限どのくらいの厚みが必要でしょうか? スパッタ膜質にも関係するかと思いますがおおよその厚みが判る方がおられましたらご教授下さい 

  • 分光測定データによるnkの算出方法について

    若干吸収のある単層膜(均質)の屈折率及び吸収係数について、分光測定データから算出する方法を教えて下さい。 詳細を以下に示します。 nm;基板屈折率(吸収なし) n;?(単層膜の屈折率) k;?(単層膜の吸収係数) ただし、n<nm -測定データ- R;膜面より測定した反射率 R;基板側より測定した反射率 T;透過率 宜しくお願いします。

  • 測定分解能と干渉縞の関係について

    赤外分光法でSi基板の上に有機膜をつけて測定しています。普通のウエハ(500ミクロン厚)だと測定分解能を4cm-1にすると干渉縞が出てしまうのですが、8cm-1だと出ません。試しにもっと厚いウエハを使うと干渉縞は出ませんでした。干渉縞と測定分解能の関係について、関係式とかあれば、教えてください。

  • 反射率からの屈折率、膜厚計算

    分光干渉法によって、薄膜の膜厚を測ろうと思っています。 しかし、我々の試料は混合物であり屈折率が未知のため、まず屈折率を測らねばなりません。 残念ながら、我々は屈折率計やエリプソメーターを持っていないため、反射率計によって反射率を測定し、そこから屈折率を計算しようと思っています。 この方法ですと、真の値との誤差が大きくなるとは思いますが、現状、エリプソメータ等がないため、この方法で調べようと思います。 そこで、まず、ネットで簡単に調べたところ、両面反射を考慮し、空気中で測定した場合の基板の屈折率は、n=(1+√(R/(2-R)))/(1-√(R/(2-R)))となるとのことでした(ここで、nは基板の屈折率、Rは基板の両面反射率です)。 次に、本などで、この導出を調べようとしましたが、一向に見当たりません。御存知の方がいらっしゃいましたら導出をお教え頂けますと幸いです。 または、より良い方法(式など)がありましたら、併せて御教授頂けますと幸いです。よろしくお願い致します。

  • クロロフィルaの蛍光スペクトル

    実験で色素をクロマトグラフィーで分離した後、分離したクロロフィルaの蛍光スペクトルを測定したのですが、660nm辺りのピークの吸光度が0.2(濃度低)になるものを分光蛍光光度計で測定したところ励起スペクトルのピーク付近では異常はなかったのですが、660nm辺りの吸光度が1.8(濃度高)になるものを測定したところ励起スペクトルのピーク付近で放物線がくぼんでしまう(0.2では662nmがピーク波長として検出されたものが1.8の方は662nmがバレー波長として検出され、その前後の655nm,671nmがピーク波長として検出されました)異変が生じました。この異変はなぜ起きるのでしょうか?よろしくお願いします。

  • 膜厚測定

    ドライフィルムの膜厚測定器で良い物(簡易測定・安価)がありましたら紹介下さい。 現在はダイヤルゲージで測定しています。測定力によってフィルムが変形する為、真の膜厚が測定できません。 測定器によって測定値が異なることもあります。

  • ラマン分析について

     私はダイヤモンドライクカーボン膜(DLC)の研究を行っており、膜の特性を評価するのにArレーザーのラマン分光分析装置を使用しています。  昔から、測定するのに中心周波数を1450cm-1にするのですが、この理由が分かりません。1550cm-1のG-bandと1350cm-1のD-bandの中間を取るという意味なのでしょうか?しかも、この中心周波数で測定するとDLC膜の特性が、100cm-1ほどずれてしまいます(1450cm-1:G-band、1250cm-1:D-band)。 ※装置は壊れているわけではありません。  しかし、中心周波数を1550cm-1にすると、1550cm-1:G-bandと1350cm-1:D-bandのちゃんとしたところにピークが出ます。  これらは一体なぜなのでしょうか?  ラマンの装置やDLCの特性について詳しく知っている方がいましたらご教授願います。

  • 膜厚測定

    化学分析の初心者です。基本的なことだと思いますが、 もしご存知の方がいらしたら教えてください。 薄膜の膜厚測定にFT-IRの使用を考えています。 担当者より膜厚への換算式はランバート・ベールの法則により導けるとアドバイスをもらいました。 A=αLC (A:吸光度 α:吸光係数 L:サンプルセルの光路差 C:サンプル濃度) 式を調べましたが、この式は液体を想定しているように思えます。薄膜の場合、上式の  A:吸光度 C:サンプル濃度 α:吸係数 はどのように決めれば良いのでしょうか?