一軸配向膜について

質問

今年からSiCの研究を始めるので、それに関する論文を読んでいるのですが、「良好な一軸配向膜」という言葉を良く見ます。
"一軸配向膜"の意味が分からず、どういったことが良好なのでしょうか？
教えてください。よろしくお願い致します。

回答No.1

38endoh

一例を挙げると，格子定数が a = b <> c の点群の多結晶体からなり，この c 軸が面直方向に配向している，というような状況のこのでしょう。XRD における (00n) のピークが，粉末試料より強く出る薄膜試料ということになりますね。

なお，研究のことはできれば研究室のスタッフか先輩に聞きましょう。研究と宿題に関しては，ここでは回答がつきにくいですよ。