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一軸配向膜について

今年からSiCの研究を始めるので、それに関する論文を読んでいるのですが、「良好な一軸配向膜」という言葉を良く見ます。 "一軸配向膜"の意味が分からず、どういったことが良好なのでしょうか? 教えてください。よろしくお願い致します。

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  • 38endoh
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回答No.1

一例を挙げると,格子定数が a = b <> c の点群の多結晶体からなり,この c 軸が面直方向に配向している,というような状況のこのでしょう。XRD における (00n) のピークが,粉末試料より強く出る薄膜試料ということになりますね。 なお,研究のことはできれば研究室のスタッフか先輩に聞きましょう。研究と宿題に関しては,ここでは回答がつきにくいですよ。

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