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「DC放電」・「RF放電」について教えてください
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- shintaro-2
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>放電原理がわかりません。 絶縁破壊以外の何ものでもないのですが、 具体的にどのようなことですか？ もしかして、絶縁破壊のメカニズム？
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補足
うまく質問できずに申し訳ありません。 スパッタリング自体の原理は勉強し、DCでは絶縁物へのスパッタができないが、RFでは可能である事はわかりましたが、具体的なDCスパッタリングとRFスパッタリングの放電原理がわかりません。 DCスパッタリングとRFスパッタリングは放電の方法が異なるだけなのでしょうか？