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スパッタ法で、、

2008/06/16 10:05

スパッタ法にマグネトロンスパッタ法ってあるんですが、原理や特徴をできるだけ詳しく知ってる方、サイトでも結構なんで教えていただいたら嬉しいです＾＾；

kurokunai
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化学
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umaibocheese
ベストアンサー率41% (21/51)

2008/06/16 18:10 回答No.1

以下のサイトがお勧めです。 http://www.sanyu-electron.co.jp/genri/sptr_01.html

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