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スパッタ法で、、

スパッタ法にマグネトロンスパッタ法ってあるんですが、原理や特徴をできるだけ詳しく知ってる方、サイトでも結構なんで教えていただいたら嬉しいです^^;

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回答No.1

以下のサイトがお勧めです。 http://www.sanyu-electron.co.jp/genri/sptr_01.html

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