スパッタチャンバー？

質問

今日、仕事の問い合わせで「スパッタチャンバー」という言葉が出てきました。私の知っている浅い知識では、ビームを出して分子を原子にして皮膜を作るという程度しか知りません。実際、どういった場所でどのような原理で動くものなのか、お分かりになる方がいらっしゃいましたら、初心者にも分かるような形で御説明していただきたいのですが・・・。是非是非宜しくお願いいたします。

回答No.1

abekkan · ベストアンサー

>ビームを出して分子を原子にして皮膜を作るという程度しか知りません。
ってちゃんとわかっているじゃないですか。

もう少し詳しく言うと、真空にしたチャンバーの中で、金属に電子ビームを当てると金属イオンとなって飛び出して（その原理は大学の物理化学のレベルなので一般人が知らなくても問題ないと思います）、近くに置いた半導体のシリコンウェハー上にくっついて金属の導電性の皮膜を作る。そのための装置のことです。

そしてレジスト膜塗布、露光、エッチングなどの工程を繰り返して、シリコンウェハ上に電気を通すパターン（＝回路）を作ります。これを切り取るとLSIチップ（＝パソコンなどのCPU）になります。

ただし、私もそれほど詳しくは知らず、かつ　分かり易いように簡単に書いたので正確でない部分もあるのであしからず。
詳しく知りたければ半導体の製造原理について調べれば出ているでしょうが、初心者にはすぐに理解できるようなものではないかと思います。

お礼

ありがとうございました。
導電性の皮膜を作る事ができるんですね。半導体の製造原理からコツコツと学んで生きたいと思います。お忙しいところありがとうございました。

回答No.2

kuniuni

スパッタのスペルは、sputter、で辞書をみると「粒を飛ばす」とか「」パチパチはねる」とかいう意味です。成膜技術でいうところでは、「物体をイオンでたたいて、これをはね飛ばして、はね飛ばされた物体を目的の基板の上につけて、薄い膜を作る」ということで、yoshi514416さんが、書いてるとおりです。

質問をもう少し、具体的に書いてください。
「実際、どういった場所」とは、どんな業種で使われているかということでそうか？それとも、具体的な成膜の条件のことでしょうか。
「どのような原理で動く」とは、スパッタ現象の説明を求めているのでしょうか。それとも、種々のスパッタ方式について、それぞれの原理のを知りたいというご質問でしょうか。
それとも、「スパッタチャンバー」の中身についての質問ですか？

もし、具体的なものを想定しているなら、その方式の名前をさしつかえなければ教えてください。例えば、「ECRスパッタ方式について知りたい。」などのように。

お礼

ありがとうございました。スパッタの意味が分かることができました。ただ、私自身「残留ガスモニター」を取り扱う仕事をしておりまして、組み込む相手側が「スパッタチャンバー」という事でしたので、ざっくりと意味が分かれば、あとはコツコツと独学で学んでいこうと思います。お忙しいところありがとうございました。