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金属のスパッタリング（スパッタレート）が知りたいのですが。
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こんばんは。 ひとえにスパッタ率と言えども、 たとえ一つの材料であっても、入射するイオンの種類、エネルギー、角度等々で変わりますし、 自分（自社）にとって必要なデータは、自分で採取するものです。 ただで得られる情報は少ないでしょうね。 学会誌を調べるのが、真っ当な調査方法だと思います。 とりあえず、見つけたサイトは、これです。 http://www.psinc.co.jp/products/sasamal/index.html こちらでは、シミュレーションツールをダウンロードできるようです。 （私は試していませんが。） http://www.geocities.com/karolewski/kalypso.htm 以上、ご参考になりましたら。
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