AFMの苦手なサンプル形状って？

質問

実験に用いる微細パターンの施されたサンプルの表面形状を測ることを考えています。
すると複数の格子のような溝が彫ってある部分で、形状画像上のエッジ部分が絵の具を引き伸ばしたように計測されました。
ほぼ同形状で問題の溝に垂直な方向へ伸びている溝に関してはそのような結果は見られませんでした。
原因として怪しいのは走査方向で、走査方向（画像上の横方向）と垂直な溝の方に問題が現われています。

わかりにくい説明かもしれませんが、心当たりのある方やズバリこの現象のことをご存知の方がいらっしゃいましたら、アドバイスをよろしくお願いいたします。

回答No.2

etcetera · ベストアンサー

質問した内容から推測し回答します。

「探針の側面が、エッジにあたり、正確な形状を走査していない」

ＡＦＭの一般的な探針は、ピラミット形の四角錐形状です。
この四角錘の角度より、急な角度となる斜面は、
探針先端で走査し続けることができなくなり、
探針の側面が接し、
正確な形状を捉えることができなくなります。

急激な段差がある場合に、よく発生します。

測定する斜面の角度より、急峻な先端角の
専用の探針を使用すると、対応できます。
ただし、通常よりゆっくりと走査し、
探針が折れないように注意が必要です。

急峻な凹凸を測定する手法として以下のＵＲＬの方法もあります。

参考URL：

http://www.siint.com/technology/gallery_data19.html

回答No.1

leo-ultra

具体的な溝のサイズや段差の高さなどを書いてくれないとなんとも言えません。

また「絵の具を引き伸ばしたような」という表現はあまりに文学的過ぎて、意味がわかりません。

例えば、ＡＦＭの“針”の先端が実効的に10nmのサイズであっても、“針”自体は円錐形に近い形をしているのではないでしょうか？　それを仮に段差10μmの近くで使うと、先端が底に届く前に円錐の壁面が段差に当たってしまうのでは。すると図は乱れると思いますが。

お礼

ありがとうございました。
まだ改善にはいたりませんが、現在対応中です。
また、何かの折にはよろしくお願いします。