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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:微細形状の計測手段について)

微細形状計測における高精度な手法と機器について

このQ&Aのポイント
  • 現在、光の干渉を利用した微小段差計測手法の開発をしていますが、計測サンプルの実際の寸法がわからずに評価に困っています。
  • エッジ形状の計測を行っており、AFMや白色走査顕微鏡では正確な傾き角を算出できない場合にどのような高精度計測方法や機器を使用すれば良いか知りたいです。
  • 70°程度の傾きを持つエッジの傾き角を正確に計測するためには、他の計測手法や専用の機器を検討する必要があります。

質問者が選んだベストアンサー

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  • Massy57
  • ベストアンサー率39% (242/615)
回答No.1

サンプルの材質、また段差の寸法が開示されていませんので(微小寸法の実測方法はたくさんありますね)、ご回答できませんが、たしかに鋭角のエッジの角度を触針法で測定は出来ませんよね。 半導体などでは、サイドエッチのためによくこのような段差ができますが通常は断面からSEMで観察します。劈開面で観察するわけですから、段差との角度も正確に押さえられるため、精度に問題はありません。エッジが劈開によって破損されそうなら、樹脂にサンプルを埋め込んで、研磨すれがいいだけですよね。サンプルの材料次第ですが。

begginer
質問者

お礼

ご回答ありがとうございます。 サンプル材質の開示に関しては当然しておくべきでした。すみません。 質問しておいて申し訳ありませんが、今手元にあるもので透明高分子材料であるとしか開示できません。 なのであまり光でエッジの細かい測定などを行うには適してはいない(もしかしたら無理かもしれません)のですが、今はこれだけなので。 ご回答いただきました断面SEM観察は非常に精度よく測れそうで大変参考になりました。こういった分野では常套手段なのでしょうか。 ただ、サンプルが破壊されることは極力避けたいという状況でもありまして、できればAFMレベルの引っかき程度で済ませたいと考えています。 とはいえ本当に良さそうな測定法なので最終的にはこの方法を使わせていただこうと思います。

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