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超微細形状の加工

切削ではできないような、微細形状の加工で困っています。 具体的には、材質は鉄系(S20C~s45C)または銅、       形状は例えば丸穴で直径10~30ミクロン、       深さ10~20ミクロンで隙間なく並べた配列。       他、線で幅10~30ミクロン、深さ10~20ミクロン。 このようなものを100ミリ角の板に彫りたいのですが、やはりレーザー や放電のようなものになるのでしょうか。いい方法やアイデアがありましたらアドバイスお願いいたします。

noname#230358
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noname#230359
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エッチングですな

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