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到達真空度の見積もりって・・・
gandhi-の回答
- gandhi-
- ベストアンサー率73% (22/30)
装置を改良したようですが、その際に、 ＴＭＰ、または真空チャンバを新しいものに換えたのでしょうか？ もし改良前と同じＴＭＰ、チャンバをお使いでしたら、 排気能力などに変化はないはずなので、長期間大気に曝した ことが原因でしょう。 単純に以前の真空度に戻したいのであれば、一度ベークしてみて、 様子をみるのが手っ取り早い気がします。 もしベーク後も真空度があがらないのであれば、 次の対策を検討されるのがよいかと思います。
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お礼
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