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超純水って何ですか？
noname#21649の回答
関係分野によっていろいろな方言があるのですが． 蒸留水・イオン交換水などの１回精製した水が「純水」で 「純水」をなんだかの手段で．もう１回精製した水が「超純水」 となります。工業用水を単にイオン交換すると．残っているものは． 細菌の胞子．鉄などのコロイド．微生物．イオン交換樹脂から溶け出したえたいの知れないもの です。これを限界ろ過（きわめてりゅうけいが小さいろ紙（メンブランフィルター）や中空糸フィルターをくぐすこと）をしたものです。 分析関係では．蒸留イオン交換とした水．あるいは．更に限界ろかをした水が．超純水として使われるのですが．半導体関係では．蒸留をせず直接限界ろ過をするようです。
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