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半導体工場の汚泥処理について
半導体工場で半導体製造時に発生する汚泥（特にフッ素汚泥、有機汚泥）について処理方法をどうしているのか教えて下さい。
- densuke
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- shoyosi
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回答No.1
シリコンウエハの研削・研磨粉を含む排水を処理するのでしたら、ろ過方式が一般的だと思います。
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