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半導体工場

今日、半導体工場のアッシングの装置の配管の掃除をしました。 キャラメルの匂いがしました。 クリーンルームの入室を何度か繰り返し クリーンスーツを何度か脱いだり着たりしました。 喉が痛くなって 今でも体がチクチクします。 これってヤバイですよね?

  • 化学
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noname#42083
noname#42083
回答No.1

症状は病院にいかないと分かりませんが、 甘い匂いなら、レジスト剤などに使用されている シクロヘキサノンに近い薬品がほとんどです。 後は、金属類とオゾンと不活性ガスです。 保護マスク、保護手袋、作業後は手洗いとうがいを実施してください。

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