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半導体工場

2007/08/07 00:04

今日、半導体工場のアッシングの装置の配管の掃除をしました。キャラメルの匂いがしました。クリーンルームの入室を何度か繰り返しクリーンスーツを何度か脱いだり着たりしました。喉が痛くなって今でも体がチクチクします。これってヤバイですよね？

dokuki
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化学
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noname#42083

2007/08/07 00:38 回答No.1

症状は病院にいかないと分かりませんが、甘い匂いなら、レジスト剤などに使用されているシクロヘキサノンに近い薬品がほとんどです。後は、金属類とオゾンと不活性ガスです。保護マスク、保護手袋、作業後は手洗いとうがいを実施してください。

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半導体工場

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