アルミの異種金属接触腐食について

質問

半導体プロセス装置を純水循環水冷却で使用しております。チラー内部はほぼステンレス製で一部銅製、マイクロ波プラズマCVD装置が銅製配管、そこに新たにアルミニウム製のHFCVD装置を導入したのですが、銅とアルミは最悪の組み合わせと聞きました。
　循環水に何か薬品を入れることでアルミの腐食を防げるでしょうか。また、どのような薬品を入れればよいでしょうか。
　アルミより卑なマグネシウム腐食陽極の設置は効果があるでしょうか。

回答No.3

noname#230359

http://01.members.goo.ne.jp/www/goo/a/a/adaptjapan/main.html

一度連絡されてみてはいかがですか

参考URL：

http://01.members.goo.ne.jp/www/goo/a/a/adaptjapan/main.html

回答No.2

noname#230359

アルミは基本的に親水性なのでディッピングには不向きです。
電食は他金属との間で起こりますが、HFを掛けるとそれ以上の電食が予想できます。これは他金属とは無関係に起こりえます。
溶接機などと同じようにカップリングで対応はできませんか？電極を直接冷却水に触れさせると腐食を防ぐ方法がありません。
特に閉鎖環境で使用するとアルミの水和物が生成し、アースされた金属部分で化合物が析出します。
コレは純水でも起こりますし、犠牲金属では防げません。根本的な再検討が必要です。

お礼

ありがとうございます。
　なるべくなら、薬品添加で対応したいのですが、無理ということでしょうか。ある薬品メーカーに問い合わせたところ、アルミには亜硝酸塩系のアゾール化合物の１種類しかない。しかし、腐食試験は絶縁させて行っているので、電食のデータはないとのことでした。薬品のサンプルをくれるので自ら実験してみるしかなさそうです。
　装置の仕様が冷却液に直接触れるようになっているので、根本的には冷却液を変えることでしょうか。

回答No.1

noname#230359

銅とアルミが最悪な組み合わせと言うのは、イオン化傾向のことを言っているのではないでしょうか？循環水に電解性があると、電気が流れてしまいます。たとえば、船舶のプロペラはブロンズでできています。船体は、鉄製です。すると、プロペラから、船体に電気が流れて、プロペラがなくなってしまいます。そこで、プロペラの根元周辺に亜鉛のブロックを貼り付けて、亜鉛と船体の間で電気が流れるようにします。亜鉛は定期的に、取り替えます。循環水が純水のように、電解性がなければ、電気は発生しない（電気腐食は起こらない）と思います。

参考URL：

http://homepage2.nifty.com/organic-chemistry/calculated/tendency.htm

お礼

早速の回答ありがとうございます。
循環水には純水を補給しますが、使用していて常に純水には保たれないのだと思います。イオン交換フィルタをつけることも対策の一つだとは思いますが、コストの面で検討したいと考えています。実際に他の設備で1ヶ月程度の使用でダウンしてしまったと聞いているので、対策は絶対必要と認識しています。