POCl3に耐性のある素材を探しています
- 半導体関連の装置の設計・製作をしている私は、POCl3に耐性のある素材を探しています。
- 既存の材料では耐性が不十分であることがわかっており、PTFE、PFAなどの樹脂系素材が良いとされています。
- しかし、POCl3に対してより高い耐性を持つ材料についての情報は限られています。知識のある方からのアドバイスをお待ちしています。
- ベストアンサー
POCl3に耐性のある素材
こんにちは。私は半導体関連の装置の設計・製作をしています。 ユーザ様からの要求で、オキシ塩化リンという有毒ガスを使用する装置を開発しています。私の会社では初めて取り扱う装置で、あまりソレに関する知識のある方が居ません。 上記のガスに耐性を持った材料を調べている最中で、あまり耐性に関する資料が無いと思い、投稿させて頂きました。 今までの調査で、SUS316L等はあまり良くなく、PTFE、PFA等の樹脂系は良いという事は分かったのですが・・・。 どなたか、POCℓ3（オキシ塩化リン）に耐性のある素材をご存知の方いらっしゃいましたら、教えて下さい。宜しくお願いします。
- 監視・センサ
- 回答数2
- ありがとう数2
- みんなの回答 （2）
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
- ベストアンサー
ＭＳＤＳを見ますと、混触危険物として”金属”と記載されており、ニッケル、鉛を除くとあります。
その他の回答 (1)
オキシ塩化リンは水と接触すると塩化水素ガスを生成します。 非常に取り扱いに注意すべき危険な物質です。 化学合成に使用することがありますが、弊社の場合はグラスライニング缶を使用します。配管も一部はグラスライニング製です。
お礼
ご回答、有難うございます。 成る程、そういえば、タンク等で石英を使用しているメーカが有ったのを 思い出しました。 という事は、ガラス系のものに相性の良いモノが多いんですかね？ 因みに、金属で相性の良いモノって、有るんでしょうか？ 例えば、真鍮とか・・・・・。
関連するQ&A
- ブレーキオイルに対する耐性有無
いつもお世話になります。 自動車向けブレーキ関連の試験装置を検討中です。 装置の部品製作にあたり、金属の表面処理がブレーキオイル（ブレーキフルード）に対し耐性が有るのかが分かりません。 ・ユニクロメッキ ・無電解ニッケルメッキ などは、いかがなものでしょうか？ 材料はSPCC板金部品の予定です。 やはり、SUSなど材質から耐性のある物とすべきでしょうか。 コスト的に、SUSはできれば避けたいと考えています。 ご存知の方、お手数ですがご教示下さい。 もう一点、アルマイト処理したアルミはいかがなものでしょうか？ カバー的用途で使用します。
- ベストアンサー
- 金属
- ステンレスの膨張対策
装置物でSUS３０４で加工した部品があります。 熱が加わる部分で、膨張、変形してしまいます。 樹脂ではまずく、SUS（金属）で熱で膨張しづらく磁気をおびない素材などありますでしょうか？ ご教授願います。
- 締切済み
- 金属
- すべりがよいガイド板の素材/コーティング
最大A4くらいの大きさのシート(紙)を，ゴムローラでニップ搬送する装置を設計しております。 印字部の下流の搬送路は，突入時(=印字中)の搬送抵抗は印字ムラの原因となるので，これを減らすべくニップを退避する構造になっております。 このときガイドとの接触(摩擦？凝着？)だけでも，高湿環境では搬送抵抗が過大になるので，現在SUS板金にテフロンコートを施しておりますが，なにしろコストが高く(現在量産で@2500以上)困っております。 すべり性がよいガイド材質，もしくはテフロンコーティングに代わるコート/表面処理をご存知でしたら御教授ください。 【検討済み】 ・エンボスガイド ・SUS磨き ・SUS素材 ・SUS+PFAコート 【今持っているアイディア】 ・SUS+ブラスト処理 お知恵を拝借したく，宜しくお願い致します。
- 締切済み
- その他（開発・設計）
- ｓｕｓ316素材の表面加工・代替品について
現在sus316の素材で製作したシリンダー内を樹脂系のピストンを動作させ原料の排出をしています。シリンダー・ピストンの公差については、0.05程度ですが、ピストン側へ汚れ（シリンダーがわ内面表面との擦れ）が付着してしまいます。潤滑材等は原料との関係の為、塗布できません。シリンダー内の表面についても剥がれ等の心配がありますメッキ等は避けたいと思います。sus材自体の表面加工等で打開する方法があれば教えてください。
- 締切済み
- 金属
- 有機溶剤の危険性について
化学用保護手袋ではなく，普通の台所用ビニル手袋（ポリ塩化ビニル樹脂製）を はめて，例えばベンゼン，キシレン，トルエンなどの薬品を扱い，もしそれらの 薬品がついてしまった場合，手袋はやはり溶けてしまうのでしょうか？ その場合有毒なガスなどが発生することがあるのでしょうか？ よろしくお願いします
- ベストアンサー
- 化学
- 部品洗浄について
現在、半導体装置に装着されている部品(サイレンサー)の洗浄依頼を受けていただける会社を探しております。半導体製造工程に使用するガスは、塩化系ホウ素ガスなどです。 洗浄方法としては、純水で洗浄、乾燥です。 部品は、かなり重く、総重量は約200kgぐらいです。 関東で、その様なところを紹介して頂けますでしょうか？ 宜しくお願い申し上げます。
- 締切済み
- その他（電子・半導体・化学）
- 適性樹脂について
樹脂選定（配管に使用なので強度及び加工性も考慮）に苦戦しております。 耐酸性（硫酸イオン：10ppm以下、塩酸イオン：5ppm以下、フッ素イオン：2ppm以下）であり、水温約50℃に耐えうる樹脂を探しております。 テフロン系の樹脂を使用しておりますが、より安くてテフロンと同様の耐性をもった樹脂は有りますでしょうか？検討している素材としては、塩化ビニルを検討中で有ります。塩酸イオンの流出の懸念があるかと思うのですがテフロン系でもフッ素イオンの流出も可能性としてはあるのかなと･･･ どなたかご見解をお願い致します。 樹脂以外では、ステンレスも念頭に入れております。 ステンレスの耐性は樹脂と比べてやはり劣るものなのでしょうか？
- ベストアンサー
- プラスチック
- 耐摩耗性に優れた樹脂
こんにちは。 初心者でもうしわけありません。 部品の圧入装置の設計をしているんですが、 通電防止に金属と樹脂をｽﾗｲﾄﾞさせるんですが、 耐摩耗性に優れてなおかつ、硬度の硬く削れにくい素材を探しています。 すいませんが宜しくお願いします。
- 締切済み
- プラスチック
- 有機リン中毒？
10/18午後から目がかすみ、かゆみもあり、こすってしまったためひどく痛んで目が明けられなくなりました。 翌日病院では「角膜に細かい傷がある」と診断され、目薬(タリビット）を２日ほど使用したところ赤み、かゆみがひどくなりました。 この目薬を止め１週間ほど経ち、症状はほとんど治まりました。 しかし、目のかすみは前よりひどくなり、すべてがフィルターをかけたように見え、視力も元々1.5だったのに10/30の測定では0.3でした(0.1でもぼやけます）。 目医者さんによると通常の角膜損傷なら治っても良い時期だそうで、揮発性物質の使用を尋ねられました。 仕事で有機溶剤を取り扱っており、ここ数ヶ月はジクロロメタンを毎日使用しています。 また10.15、18と10/25～29にオキシ塩化リン(POCl3)を使用し、目の症状の時期、経過と重なることから、これ自身、または反応生成物(ジクロロリン酸エステル）が原因では？と(診察の後で）思い始めました。 他に、鼻水、頭痛、吐き気などがあり(車酔いのような感じ)、有機リン系の殺虫剤中毒の症状と似ているように思います。 殺虫剤そのものでないため，検査等でリン中毒かどうか分かるのでしょうか？この場合どのような病院、科を受診すれば良いのでしょうか？ また原因(と思われる）薬品の使用を避けるとすぐ症状は治まるのでしょうか？体内に蓄積されてるかも、と心配です。 詳しい方のアドバイスよろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 病気
- 漏液対策
半導体用の剥離装置を手がけています。 ８０℃前後で使用するアミン系薬液で漏液問題があります。 スウェージロック、パーカーなどの「カシメ継手」は全滅でした。 「ネジ込継手」でもニジミが出ており、対策を検討しています。 マシ締めも限界があり、温度、振動などからの「ユルミ」と 剥離液の浸透性からの漏液と思われます。 シールテープ(ＰＴＦＥ）などの改善だけでは厳しいと考えています。 現在の案は次の２点ですが、その他ご助言を頂ければ幸いです。 ?「ネジロック」などで固着させてしまう。 デメリット：マシ締めができなくなり不安要素があります。 ?ＳＵＳ継手、ＰＴＦＥ継手を交互に使い膨張係数の違いにより シールをする。 デメリット：一部配管で使用(漏液しない)できている部分有り 但し長期の信頼性知見が全く無し
- 締切済み
- その他（電子・半導体・化学）
お礼
殆どの金属が混触危険物とは・・・・本当に危険な物質なんですね。 このご回答をいただいて、改めてこれから作る装置の、安全に関する重要性を感じ取る事ができました。 金属に関しては、インコネルぐらいしか検討していませんでした。因みに、それでも錆びる事があるみたいで（汗） ニッケルは、いけそうな気がしてきました。検討してみます。 ご回答いただき、本当にどうも有難う御座いました！