漏液対策

質問

半導体用の剥離装置を手がけています。
８０℃前後で使用するアミン系薬液で漏液問題があります。
スウェージロック、パーカーなどの「カシメ継手」は全滅でした。
「ネジ込継手」でもニジミが出ており、対策を検討しています。
マシ締めも限界があり、温度、振動などからの「ユルミ」と
剥離液の浸透性からの漏液と思われます。
シールテープ(ＰＴＦＥ）などの改善だけでは厳しいと考えています。

現在の案は次の２点ですが、その他ご助言を頂ければ幸いです。
?「ネジロック」などで固着させてしまう。
　デメリット：マシ締めができなくなり不安要素があります。
?ＳＵＳ継手、ＰＴＦＥ継手を交互に使い膨張係数の違いにより
　シールをする。
　デメリット：一部配管で使用(漏液しない)できている部分有り
　　　　　　　但し長期の信頼性知見が全く無し

回答No.3

noname#230359

無敵の樹脂であるPTFE等も、透過してその特色を維持できませんか？

また、SUS系のカシメ継手も『ニジミ』や『涙漏れ』が発生しますか？

液の製造工程は、常温なので考慮がいらない取扱い難い液でしょうか？

基本的には、継手は極力少なくして、継手使用箇所は漏液用トレイを

設け、極力熱ストレスが加わらない構成を考えるが、小生の経験上の

対応でした。

お礼

回答ありがとうございます。
加温して使うことが漏液発生の一因です。
いずれにせよ、ご指摘の「熱ストレス」の緩和、吸収が
課題となりそうです。

ご教授ありがとうございました。

回答No.2

noname#230359

８０℃前後で使用するアミン系薬液に対しゴムの耐久性があるかどうかだが、
シールゴムをソフトなPTFEとかにも出来るかも知れない。振動とかには良いし
施工が容易なので、一度、参考URLのメーカーに問い合わせしては如何か？

参考URL：

http://www.sb-coupling.co.jp/straub/index.html

お礼

お世話になります。
アドバイスありがとうございます。
さっそく適用可能かを検討してみます。

回答No.1

noname#230359

アミン系の剥離液の漏れの原因が、液に対する化学的な原因なのか、
温度変化や、配管の振動などによる物理的なことが原因なのか不詳ですが、
アミン系薬品は、表面張力も低く、浸透し易く、ちょっとした隙間でもがあると
入り込んで漏れに繋がりやすいみたいです。
半導体製造関連装置のこれらの薬液に対する、高性能の継ぎ手（ｽｰﾊﾟｰﾌｨｯﾃﾝｸﾞ：Ｓ－３００）
のメーカの日本ピラー工業に、一度、相談してみてはいかがでしょうか？

http://www.pillar.co.jp
または、
http://www.pillar.co.jp/contents/products/pfh_fitting.shtml

参考URL：

http://www.pillar.co.jp/contents/products/pfh_fitting.shtml

お礼

お世話になります。
アドバイスありがとうございます。
一部テフロン配管化を考えておりましたが、ご紹介頂いた部品で
信頼性をＵＰさせることが出来そうです。
早速検討してみます。