イオン窒化について

質問

初めまして、私は大学でイオン窒化処理の研究をしています。研究室で所有している装置では、グロー放電は生じるのですが、できた試料表面にはむらがあり、表面硬さも期待している値が得られません。原因として何が考えられるのか教えてください。また、試料表面が青くなる部分は酸化によるものなのでしょうか？

回答No.4

noname#230359

こんにちは
答えが正常に送信されましたので、再度アドバイスを申し上げます。
率直なところ、私はあなたに期待も否定もするものではありません。ただ、質問も出来ない多くの学生さんの中にあって、率直に解らないことを聞こうとする姿勢に好意を感じます。
これからの時代は産学が協力して互いの長所を示していくべきでしょう。また、このnetが閉ざされた環境に置かれることは、主宰者の思われる所ではないと信じ本文に入ります。
イオン窒化は、正確な制御が出来る反面、装置の状態、処理対象の金属組織、構造、表面状態等に思いがけない落とし穴のある表面処理技術であります。
具体的に言いますと、装置においては大学で良くあることですが、イオン注入、イオンプレーティング等を共用されることが良くあり、ベルジャーの後処理に問題を残すことが多いのです。・・・ベルジャー内面及び冶具の掃除は出来ていますか？・・・リークはありませんか？
処理物については、ブローホールはありませんか？ベーマイト組織ではありませんか？スケールはありませんか？金属間化合物ではありませんか？など等多くの設定条件の相違があります。また、スパッタは生じませんでしたか？処理物を熱いまま取り出しませんでしたか？等経験が大変重要な分野です。
従って、どのように処理されたかを具体的に開示されることが必要でしょう。・・・私で出来ることでしたらご指導（無料）いたします。
また、当該技術分野の先行大学院、専門誌の紹介をさせて頂くことも可能かなと思います。
研究のご成功をお祈りいたします。

参考URL：

http://www2.ocn.ne.jp/~jyce/

お礼

私の質問に対する回答を頂き有難うございました。私の行為に多少なりともご好意を感じて頂くことができ、うれしく思います。また､iyceさんの御回答から参考書には記載されていない内容(>思いがけない落とし穴がある)を知ることができました。(私の勉強不足なのでしょうが、私が目を通したテキストにはイオン窒化に関して大まかにしか記載されておらず､また､優れた点を前面に出しているものですから。)それから､以前質問を投稿させて頂いてからも装置の改善を試み､リークのある個所を断定することができました。それにより､ムラが消え､表面硬さも格段に向上いたしました。有難うございました。
　このようなことをここで述べさせていただくのも場違いかもしれませんが､以下､私の考えを述べさせていただきます。私は､今でこそ学生ですが､将来は工学の分野で技術者として仕事をしていきたいと考えている者ですから､現在の努力を怠らずにゆくゆくは皆さん方と肩を並べられるようになるため、多くの経験を重ねたいと思います。(生意気なことを言うようですが､反感を感じられるのであればお詫び申し上げます。)ですから､このサイトに参加したこと､そして厳しくも暖かいご意見やアドバイス､皆さんの考えを聞くことができたのは私のこれからの人生において大きな糧になると確信しております。
　最後に､皆さんから多くの､また､色々な、ご意見やアドバイスを頂き､非常にうれしく思っています。この場をお借りして御礼申し上げます。

回答No.3

noname#230359

こんにちは
本日早朝回答をしましたが、送信したにもかかわらずこのサイトでの受付がされませんでした。
テストとして本文をお送りしますので、ご了解ください。
正常に受け付けられましたら､もう一度回答を致します。

回答No.2

noname#230359

はじめまして、この質問に関しては、私個人としては大変疑問を感じ
ます。このページは本来中小企業を主体とする、企業が来る場所だと、
思っており、特に私は、大変厳しい環境に置かれている、中小企業さん
が、開発、研究する予算も無い、時間も無い人たちのための、生き残り
をかけた、駆込み寺と思ってます。それだけに、答える方も真剣に答え
て居ります。貴方は、学生です。研究する時間、予算も企業に比べると
恵まれており、このような単純なことで聞いていては、いったい何を
研究するのですか？これらを調べ、社会、企業に知らせることが、今
の貴方の役目ではないのでしょうか？どんな大学でも、国からの補助金
も出ており、私共企業からも共同開発の名目で、資金を援助しており、
貴方方に期待と、希望を持って居ります。どうか厳しいことをいいます
が、今は、安易に聞くことを選択しないでほしく思います。特に、これ
からの時代、速情報もつかめます。あえて、厳しい方をお選び下さい。
　もし、どうしても解決できないことがあったなら、その時は相談くだ
さい。厳しいこと言って、ごめんなさい。

参考URL：

www.furuichi-tec.co.jp

お礼

内容は厳しいものですが､貴重なご意見ありがとうございます。確かに私はこちらのサイトの趣旨を取り違え､安易な選択をしてしまったかもしれません。しかし､私は何も考えずに質問を投稿したのではなく､自分なりに文献を調べ､試行錯誤した上で､例え皆さん方にとっては単純なことであっても私の力では解決できないので相談を持ち掛けさせていただいたという事実だけはご理解していただきたいと思います。furuichiさんの意見から､今､自分が学生であるという身分がいかに恵まれた時期を過ごしているのかを再確認できただけでも､私にとっては皆さんに質問させていただいたことが有意義なものとなりました。最後に､huruichiさんの「あえて､厳しい道を選ぶ。」という言葉を肝に銘じ､自分の努力不足から簡単に逃げ出すようなことが無いように精進したいと思います。

回答No.1

noname#230359

はじめまして。
私は、もろに、業務でイオン窒化担当しています。

試料の表面が青くなるとのことですが、たぶん酸化だと思います。それも酸素（エアー）の混入と思います。まず炉体（特にＯリング）を点検してみてください。（エアーが漏れていないか？）あまりゴムが硬いようでしたら交換をお奨めします。後、可能性としては、炉体からの水漏れも考えられます。さらには、ガス導入管に穴があいているとか・・
それでもだめなら炉体のリークテストをしてみてください。

あと、試料はきれいに前洗浄されていますか？一応念のため・・

試料の材質は何でしょうか？ステンレスですか？？それもオーステナイト系の・・一番、シビアに症状がでますので・・・想像ですが・・青くなったりムラや表面硬度が得られないとのことで・・・

もう少し詳しい状況（材質、処理時間、ガス比、狙い硬度、等）がわかるともう少し確実なアドダイスが出来ますが・・・
あんまりおおっぴらに公表したくないのなら、このメールアドレスkinzoku@toriton.or.jp（私のです）に送ってもらってもいいですよ。

業務としてイオン窒化をおこなっているので色々な新しい情報も私もほしいと思っています。今後も何かの折りにはよろしくお願いします。

では！(#^.^#)

お礼

早速解答を頂き､ありがとうございました。詳しい情報も送らせていただきました。よろしくお願いします。