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グロー放電とは何ですか？？
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質問者が選んだベストアンサー
たとえば薄膜を作る方法（蒸着法）にスパッタリングというものがあります。 これはグロー放電を利用する方法で、蛍光灯やネオンサインに利用されている放電と同じで、圧力が0.01～1000Pa程度のArガス封入容器中で陰、陽極間に高電圧を印可するとグロー放電が発生します。このとき発生する光はプラズマと呼ばれています。
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- tocoche
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放電というと雷のようにイナズマが走るイメージが強いと思いますが、これはアーク（電弧）放電。 グロー放電は蛍光灯を点けるときに点灯管の中で起こっているような、ぼやーっと光る放電です。 激しくなくて安定した放電なので、真空蒸着では金属を少しづつ蒸発させます。
お礼
具体的に金属をどの様に変化させていくかイメージが沸きました。有難うございます。
- First_Noel
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最も身近なグロー放電は，蛍光灯です． ただ蛍光灯は内側に蛍光塗料が塗ってあるので， 直接見ることは出来ませんが． あと，町でみかけるネオンサインなどもそうです． アーク放電とグロー放電との違いは，放電電圧を上げると 電流量が増えるか増えないかと言う点です． また，グロー放電にも，通常のものと，異常グロー放電とがあります．
お礼
アーク放電とグロー放電の違いは電流量だったんですね。参考になりました！有難うございます。
- atsushi01
- ベストアンサー率29% (19/64)
グロー放電：ガラス管に比較的圧力の低い気体（１ｍｍＨｇ前後）を封入して電極間に電圧を加えると光を伴う放電が起こる。これをグロー放電と呼びます。 電極間の電圧を高くするとアーク放電になる。
お礼
有難うございます！！大変分かり易いです。また、宜しくお願いします。
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