アルミナの薄膜の製造方法

質問

こんにちは。
材料系は初心者なので、お伺いします。
γーAl2O3の薄膜を作りたいのですが、作り方がよくわかりません。
どなたかわかる方がいらっしゃれば、ご教授お願いします。
また、アルミナ薄膜に関するサイトや論文もありましたら、教えて下さい。よろしくお願いいたします。

回答No.2

Massy57 · ベストアンサー

Massy57です
湿式法でご作成とのこと。　成膜後の熱処理温度で結晶型はコントロールできるはずです。湿式法（ゾルゲルも湿式法ですよね）でアルミナ膜を作る場合、完全な結晶にするためには、成膜後空気中での熱処理が必須です。高温で焼成すればαアルミナが、低温で焼成すればγアルミナの結晶幕がでくるはずです。ただ温度範囲は、通常のバルクの状態図とは相当異なり、他分かなり低温にシフトするはずです。
湿式法で作成したアルミナは他分アモルファスに近い状態で、観察（SEMで観察されると思います。金蒸着されるとアルミナの構造を見ているのか金の状態を見ているのかわかりません。チャージアップしなような低圧で蒸着なしで観察する必要があります）できないとおもいますので、上述したように熱処理されるはずですが、成膜後温度を上げると当然基材とアルミナの熱膨張の差による熱応力で簡単に膜が剥離するため、基材を選ばれる必要があります。　アルミナセラミックスなんかがあたまにうかびますよね。サファイア基版（GaN LEDのエピ製造用に大量に使用されるので、容易に入手可能）がベストだと思います)。
もちろんエピでいう限界膜厚以下であれば熱膨張差は問題になりませんが。
ゾルゲル成膜条件をいじれば、ご希望のようなアルミナ膜の成膜も低温で可能ではないかと思いますが、低温プロセスは小生の専門外です。
ただ、専門誌をおしらべになれば、そのあたり簡単に情報がえられるのでは（結晶成長ならJ.Crystall Growtｈなんて昔は有名でしたが、今は？）。
適当なキーワードで、学術論文系のDBを検索されれば、多数の情報が得られるのでは。