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積層膜の書き方
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1.日本のJJAP、外国のApplied Physics, Crystal Growthなどの専門誌で A/B/Cの書き方が一般的です。 ２．日本の実務ではC/B/Aも使われています。ただし、この場合は、結晶や、薄膜の専門家でない人が、よく知らずに説明資料を作成していてその中で使用されている場合が多いです。
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補足
対応遅くて申し訳ないです。 念のため確認ですが、ご回答は、基盤に近い（先に製膜する）のが C の場合の書き方は、 A/B/C ってことですね？