- ベストアンサー
ケミカルエッチングについて
- みんなの回答 (2)
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
質問はケミカルエッチングなんですからドライエッチングはズレているのではないでしょうか。「レンブラント」に至っては画家であって、エッチングの研究者じゃないですし。 MiJunさん、あなた質問の趣旨が本当に分かってます? 的外れな回答を投げる一方で「補足要求」にチェックしたのでは質問者が余計困ってしまうだけですよ。 さて本題、亜鉛面と酸素面ではエッチングの挙動は異なると考えてよいと思います。 例えば、GaAsなどの化合物半導体のウェットエッチングでは面方位によっておよそ {110}>{111}B>{100}>{111}A の傾向のようです。もちろん反応律速という条件が付きます。(生駒、河東田、長谷川「ガリウムヒ素」、丸善(1988)) また材料、エッチャント、エッチング条件によって多少の入れ替わりもあるでしょう。 上記の不等式を見るとGa面とAs面でかなり差異があるようですね。表面を覆っている原子の種類が違うということを考えればむしろ違って当然のようにも思えます。 酸化亜鉛の場合にどちらが速いかまでは私は知りませんが、いずれにしてもエッチング速度は違うと予測されます。 結果は少し実験をしてみれば簡単に分かりそうですね。
その他の回答 (1)
直接的な回答ではありませんが、以下の参考URLサイトは参考になりますでしょうか? 「材料プロセスの反応速度論」 HClガスのようですが・・・? ○http://www.t.u-tokyo.ac.jp/research/content/m.html (化合物半導体ドライエッチングプロセスの反応機構解析) これもHClガスのようですが・・・? 更に、以下の成書は如何でしょうか(内容未確認!) ------------------------------ 実用ドライエッチング技術/菅原実/リアライズ社/1992.7 半導体ドライエッチング技術/徳山巍/産業図書/1992.10 レンブラントエッチング全集/K.G.ボーン[他]/三麗社/1981.2 金属エッチング技術/ギュンター・ペツォー…[他]/アグネ/1977.9 金属表面工業全書/18/青谷薫∥〔等〕編/槙書店/1973 ------------------------------------ これらに記載がない場合は文献検索された方が良いと思いますが・・・? ご参考まで。
関連するQ&A
- KOHのエッチング原理について
シリコン基板をアルカリエッチング液を使ってエッチングするとき、アルカリエッチング液としてTMAHを使用した場合とKOHを使用した場合では、KOHの方が100面エッチングレートがとても早いです。 KOHの100面エッチングレートがTMAHより早くなる理由(メカニズム)について、どなたか情報を頂けないでしょうか? お忙しいところ申し訳ありませんが、宜しくお願い致します。
- 締切済み
- 化学
- アルミ蒸着膜のエッチング液について
Al蒸着膜をフォトリソグラフィーでエッチングしたいのですが、エッチング液は何を使ったらよいのでしょうか? Al膜は抵抗加熱蒸着で成膜し、膜厚は1ミクロンぐらいです。 アンダーカットは極力小さくしたいです。 塩酸では反応が進まず(表面の酸化膜のためかもしれません)、硝酸を1/4~1/3混ぜたところ、Al膜がフォトマスクごと全部はがれてしまいました。 どなたか、お知恵を拝借ください。
- 締切済み
- 物理学
- 硝酸亜鉛の結晶構造について
宿題で亜鉛の構造と硝酸亜鉛の構造について調べなくてはならなくて、亜鉛の構造は六方最密とわかったのですが硝酸亜鉛の結晶構造が分かりません。 硝酸亜鉛も六方最密であってるでしょうか?
- ベストアンサー
- 化学
- 窒化タンタル膜のエッチングについて
すいませんがどうしても教えてもらいたい事があります。現在半導体メーカーに勤務しているのですがそこでCuta膜(銅と窒化タンタル膜の2層で構成された膜)をエッチングしなければなりません。 そこで調べたのですがなかなかうまく検索できずに困っています。 工程としてはWetにおける処理なのですが窒化タンタル膜とはどの薬品にてエッチングを行っているのでしょうか? 情報としてはフッ硝酸と過水及び水で混合された薬品にて処理を行っているのですが処理回数を重ねるたびにエッチング量も減少していきます。このため、薬品の混合比がくずれ燐酸における(SiO2の溶け込みにおけるOXIDE膜(酸化膜)のエッチング量減少)状態と同じ様な現象が起きているのでしょうか? もし減少が上記問題にて引き起こされている場合はどの薬品の比率に大きく関係しているのかを教えてもらいたいです。 すいませんが分かる方いましたらどうぞよろしくお願いします。
- 締切済み
- その他(ビジネス・キャリア)
- 水酸化亜鉛の結晶構造、変態温度と酸化亜鉛の変態温度
文献で色々調べ、酸化亜鉛の結晶構造は六方晶系(ウルツ鉱型)ということがわかったのですが 水酸化亜鉛の結晶構造、変態温度 また、酸化亜鉛の変態温度がわかりませんでした どうか教えてほしいです。よろしくおねがいします
- ベストアンサー
- 化学
- エッチングパーツの接着剤について教えてください。
プラモデルのエッチングパーツの接着剤に関西ポリマー研究所の瞬間金属用接着剤クイックボンドSの使用を検討しています。この接着剤は、ムクのメタルキットでの使用実績や高い評価は聞いていますが、薄いエッチングパーツの接着となるとその効果はいかがなものでしょうか。今回エッチングパーツの箱組みの接着に使用したいのですが、接着部が辺と辺の突き合わせとなる為、接着面も線状で微小となります。そのため強度的に心配です。エッチングパーツの接着には2液混合のエポキシ系接着剤や他のシアノアクリレート系の瞬間接着剤を使用する人が多いとは思いますが、それらと比べてどうなのでしょうか。どなたかエッチングパーツの接着にクイックボンドSを使用されたかたがいれば教えてください。 なお、本来であればハンダ付けがベストなのは承知していますが、悲しいかな当方にその経験がありません。以上よろしくお願いします。
- ベストアンサー
- プラモデル・模型
- シルバーのエッチングについて
東急ハンズで売ってるエッチング液(腐食液?塩化第二鉄液?)を使い金属に模様を入れたいのですが、ネットで調べてみても、銅や真鍮、洋白を腐食させているものしか見当たりません。 アルミは反応が強く危険ということが分かったのですが、ステンレスやシルバーは腐食させることができるのでしょうか? 硝酸は素人では危険だし、入手困難なので使用を考えていません。ハンズで売ってる腐食液で、腐食させれる金属と腐食させると危険な金属の種類を教えてください。(特にシルバーが気になります。) よろしくお願いします。
- ベストアンサー
- その他(ホビー・玩具)
- 温度の違いによる結晶構造
水酸化亜鉛Zn(OH)2は6配位八面体構造で、融点は125℃のようですが、結晶構造が変わる(結晶変態)温度を教えてください。 また、酸化亜鉛についても同様のことがわからないので知りたいです。
- ベストアンサー
- 化学
- 光学顕微鏡観察用エッチング液;焼き入れ組織の旧オ…
光学顕微鏡観察用エッチング液;焼き入れ組織の旧オーステナイト粒界 高周波焼き入れした,S45Cの見だしのことでお尋ねします.お客様からの相談事で急いでおりまして,手近な参考書により(ピクリン酸1g+塩酸・硝酸それぞれ20ml+エタノール80ml)で光学顕微鏡観察しましたが,粒界様のものは見えませんでした.適切なエッチング液(および,処理・観察法)お教えください. お世話になります,数値の誤りを訂正させていただきます. ・・・・塩酸も硝酸もそれぞれ10mlの使用です. (混酸=20ml+エタノール=80ml の液です) よろしくお願いします.
- 締切済み
- 熱処理
お礼
詳しい解答ありがとうございました。 早速、硝酸エッチングをやってみたいと思います。