環境分析（水質）に超純水を使うのは制限がある？

質問

事業所で環境分析を担当しています。わが社は半導体製造用の超純水が豊富に使用できる環境にあります。
さて、このたび新しいＧＣ－ＭＳを導入して立ち上げを行っているのですが、そのときメーカーの担当者に「ＶＯＣの測定に超純水は使ってはいけない。それは常識だ」と言われました。超純水は有機物が多く、測定の妨害になる、というのが理由のようですが納得できません。ＪＩＳでは分析に用いる水が定められており、ＶＯＣ測定はＡ４又はＡ３に相当する水を用いることになっています。Ａ３の水質（ＴＯＣ０．２ｍｇＣ／Ｌ以下）という基準は超純水製造工程の管理基準上クリアしていますので、問題はないはずです。それでも「業界の常識」は適用されるのでしょうか。ご存知の方教えていただけたら幸いです。

回答No.1

kei533

超純水といっても種々のグレードがあります。貴社の半導体がLSIであれば、集積度と超純水水質の関係は下記URLをご覧ください。
http://www.suga-kogyo.co.jp/techno/g-10/31194_21.html
http://www.jaie.gr.jp/z_yamaki.pdf

LSI集積度が64Kbitで既にTOCは1mg-C/L以下で、>1Gbitでは1μg-C/L以下です。 貴社の超純水装置のTOC測定記録か、仕様を確認するか、納入メーカにTOCの保障値を確認してください。LSI生産用超純水装置なら24時間連続運転で、間欠運転の実験室用の小型純水装置より水質は安定し、TOCもかなり低いはずです。また、超純水は使えないと言う根拠をGC-MSメーカに聞くべきです。

お礼

回答いただきありがとうございました。関係URL拝見しましたが、弊社の半導体は64M相当はありますので、これを見てもJISの基準はクリアしていると思います。根拠をメーカーに聞いてみることにします。

補足

メーカーに確認しましたところ、超純水は純度が高すぎて空気中に晒した瞬間に、空気中の不純物が吸収されるからだそうです。確かに、超純水は少しでも淀むと比抵抗が下がってしまうことからもそのような傾向があることは理解できますが、「きれい過ぎるから使えない」というのは納得できません。どなたか同じような環境にある方いらっしゃいましたら、教えてくださいませんでしょうか？