排気機構と真空ポンプとは同じですか
- 液晶パネル基板を加熱するチャンバーの内部を排気して真空にする排気機構と真空ポンプは類似していますが、完全に同じものではありません。
- 排気機構は、液晶パネル基板を加熱して内部のガスを排気し、真空状態を作り出す装置です。
- 一方、真空ポンプは、チャンバー内のガスを吸い込んで排気する機構を持ったポンプで、排気機構とは異なる仕組みを持っています。
- ベストアンサー
排気機構と真空ポンプとは同じですか
- みんなの回答 （2）
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
一般的な文献を読む上では、そのように理解していればよさそうに思います。 とはいっても、真空ポンプは、排気機構の一部を形成する要素でしょうから、液晶パネル製造装置の構造を詳述する文献では、使い分けをしている場合もあるでしょう。
その他の回答 (1)
- nowane4649
- ベストアンサー率55% (222/403)
各業界や組織ごとの用語運用の問題となり、これといった「正解」はないと思います。 ただ、「排気機構」となると、複数の真空ポンプやバルブを組み合わせたシステムといったイメージを受けやすいです。 例えば、粗びきドライポンプ、粗びきバイパスバルブ、ターボ分子ポンプを組み合わせたシステムなどです。
関連するQ&A
- 真空ポンプの排気配管の注意
お世話になります。 真空ポンプの排気配管を検討中です。 真空ポンプの仕様は 形式；ロータリーベーン式真空ポンプ（油回転式） 設計排気速度；5m3/min（at 60Hz） 到達真空度；66.5Pa（約0.5Torr） 吸引口・口径；50A（接続方式；ねじ込み式） 排気口・口径；65A（接続方式；ねじ込み式） です。 ポンプから吸い込んだ空気を配管を介して排気しますが、 この排気系の配管を行うにあたり注意する点は どのような所でしょうか。 まずは常識的な所からご教授頂けるようお願いします。 宜しくお願い致します。
- ベストアンサー
- その他（開発・設計）
- 真空ポンプについて
すごく馬鹿らしい質問で申し訳ないのですが真空ポンプにて圧力を下げたのちもとに戻す過程について質問です。 ある断熱壁で覆われて、真空ポンプにつながれた密閉容器に気体が入っていたら、ポンプを用いて内部の圧力を下げることができると思います。 真空ポンプは容器内から気体を排出することで圧力を下げるということは この場合容器内部の粒子の数が減ることで圧力が下がると認識してます。 ではそこから次に圧力をもとに戻そうとするときに、吸引口のバルブを閉めていくことで 圧力計の目盛りが圧力上昇することを示すと思います。 このときって容器の中の粒子数が増えないと、温度が上がらない限り圧力は上昇しないんじゃないかと思います。 ということは今度は吸引し続けながらもポンプは容器内部に粒子を戻しているということでしょうか？ これって逆流防止の弁みたいなのがついていておこりえるんでしょうか？ あと戻している気体は抜いた気体ではなくてポンプ周囲の空気ということなんでしょうか？ すごく初歩的なことが抜けてる気がしてなりませんが、コメントいただけると幸いです。
- 締切済み
- 科学
- 真空ポンプの性能について質問です。
ツーステージ 排気速度 ・84L/min 到達圧力・3×10-1Pa のポンプと シングルステージ ポンプスピード 1725min-1 真空度 1000ミクロン のポンプのどちらを買おうか迷っています。 目的は、真空脱泡機を作ろうと思っているのですが 表記が違う単位で書いてあるので、性能の違いがよくわかりません。 どっちが排気速度が高く、真空度が高いのですか？
- 締切済み
- その他（ホビー・玩具）
- 真空チャンバー内の熱電対温度測定について
kougakubuです。 真空チャンバー内の熱の伝わり方について質問です。ヒータを使って，大気中と真空中とでSUS基板を加熱した時，基板の温度特性や到達温度に違いが出るのでしょうか？ご存知の方教えてください。 私は真空中で加熱した時の方が，周りに伝えるもの(酸素？)が限りなく少ないので大気中の方が基板温度が高まると思うのですが・・いかがでしょうか？でも，大気中で加熱すると酸化してヒーターが傷んでしまいそうですね。・・・ 宜しくお願いします。以上。
- ベストアンサー
- 物理学
- 真空成形の真空度と吸引容量
真空成形について検討していますが 真空ﾎﾟﾝﾌﾟなどの設備要件をどのように決めるかで困っています。 吸引する量（ﾁｬﾝﾊﾞｰの容量）というのは、閉空間作ったときの容量にプラスどのくらいみておけば良いのでしょうか？ ※ﾎﾟﾝﾌﾟ能力はﾁｬﾝﾊﾞｰを真空にするのに１ｻｲｸﾙで十分間に合うと考えて・・・ 真空度を上げるのは ﾁｬﾝﾊﾞｰ容量を大きくしてもムダ？ 真空度を早く上げるのも ﾁｬﾝﾊﾞｰ容量を大きくしてもムダ？ で良いんでしょうか？
- 締切済み
- その他（FA・自動化）
- 真空ポンプなどについて
私の扱っている装置の試料交換室は ロータリーポンプとターボ分子ポンプで真空を引いています。 たまにロータリーから白煙があがるので、一度ロータリーを停止したいと思っています。 ロータリーを停止する方法がよくわからないので教えて頂きたいのですが。 ちなみに、交換室とターボ分子ポンプの間にバルブ(1)が、 ターボ分子ポンプとバルブ(1)の間にArの線が、 ターボ分子ポンプに直接？N2の線が、 ターボ分子ポンプとロータリーの間にバルブ(2)があります。 またロータリーの排気口から外部へ通じており、その間には isolation blockというものがあります。 isolation blockとは何なのでしょうか？ この場合、ターボを停止させるにはロータリーも 停止させないとだめですよね？ そのときの手順も教えていただきたいのですが。。。 あまり真空に関して詳しくありませんので、 つまらない質問ばかりすると思いますが これからもよろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 物理学
- ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれ?
ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれでしょうか? a. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ ターボ分子ポンプ(排気速度：2ｍ2/ｓ)がN2ガス流量20Ｐａ・ｍ3を排気 B-A真空計 b. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」油回転真空ポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 ピラニー真空計 c. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 B-A真空計 d. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 B-A真空計 e. 「主」ドライポンプ ドライポンプの到達圧力 B-A真空計
- ベストアンサー
- 物理学
- 軽元素ガスの真空排気について
H2やHeなどの軽元素ガスを真空排気する場合、一般にターボ分子ポンプ等では圧縮比が小さくなり排気速度が低下します。しかしロータリーポンプにおいても空気を排気するよりも時間がかかるようなのです。何故でしょうか？
- 締切済み
- 物理学
