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排気機構と真空ポンプとは同じですか

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  • 質問No.9625018
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お礼率 9% (37/371)

液晶パネル基板を加熱するチャンバーの内部を排気して真空にする排気機構は、概ね、真空ポンプと同じものでしょうか?

質問者が選んだベストアンサー

  • 回答No.1

ベストアンサー率 57% (194/336)

[技術者向] 製造業・ものづくり カテゴリマスター
一般的な文献を読む上では、そのように理解していればよさそうに思います。
とはいっても、真空ポンプは、排気機構の一部を形成する要素でしょうから、液晶パネル製造装置の構造を詳述する文献では、使い分けをしている場合もあるでしょう。

その他の回答 (全1件)

  • 回答No.2

ベストアンサー率 51% (67/129)

各業界や組織ごとの用語運用の問題となり、これといった「正解」はないと思います。

ただ、「排気機構」となると、複数の真空ポンプやバルブを組み合わせたシステムといったイメージを受けやすいです。
例えば、粗びきドライポンプ、粗びきバイパスバルブ、ターボ分子ポンプを組み合わせたシステムなどです。
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